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735W 系列,，二級減壓調(diào)壓閥，為高壓超高純度（UHP）應(yīng)用而設(shè)計,。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動,，出口壓力保持穩(wěn)定。
產(chǎn)品分類品牌分類
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
735W 系列,，二級減壓調(diào)壓閥,，為高壓超高純度（UHP）應(yīng)用而設(shè)計。該系列產(chǎn)品擁有優(yōu)異的穩(wěn)定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動,，出口壓力保持穩(wěn)定,。
- 派克Veriflo部門的735W和NPR735W（亞大氣壓）系列閥門，是為高壓氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計,，特別是用于超高純度（UHP）半導(dǎo)體制造操作系統(tǒng),。 該系列產(chǎn)品適用于惰性和腐蝕性氣體，具有二級隔膜設(shè)計,，可大限度地減少供給壓力的影響; 因此,，無論入口壓力如何波動，都能提供穩(wěn)定的出口壓力,。
735W系列調(diào)壓閥具有*的壓縮構(gòu)件,，其在潤濕區(qū)域無螺紋，從而提高泄漏完整性,，并減少顆粒的產(chǎn)生和截留的風(fēng)險,。此種調(diào)壓閥配有100級潔凈室,，由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成，并帶有PCTFE（聚三氟氯乙烯）或者 Vespel®（聚酰亞胺）閥座,。這些材料,，標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結(jié)合在一起，使調(diào)壓閥入口壓力高達(dá)3,500 psig時都能保有其的耐腐蝕性和清潔度,。閥座還具有自定位設(shè)計,，可做重復(fù)有效關(guān)閉，穩(wěn)定的密封性,，以及精確的壓力調(diào)節(jié)。它通過集成的過濾網(wǎng)保護(hù)其不受上游氣缸帶來的污染,。
735W系列調(diào)壓閥,，當(dāng)閥座出現(xiàn)泄漏時，閥門關(guān)閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏,，并且通過消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性,。調(diào)壓閥內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行內(nèi)外部氦氣泄露檢測，以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應(yīng)用中,，保有其性能和可靠性,。
美國派克PARKER減壓調(diào)壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢：
• *的壓縮構(gòu)件無需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕xing服務(wù)）
• 內(nèi)部彈簧設(shè)計小化顆粒的產(chǎn)生和氣體截留
• 金屬對金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內(nèi)部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He （額定）
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig （NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制）
• Cv 0.04
• 標(biāo)準(zhǔn)的全內(nèi)部電拋光
美國派克PARKER減壓調(diào)壓閥應(yīng)用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br />• 閥組箱（VMB）
• 上游工藝管線
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