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IFM電容式傳感器的原理
IFM電容式傳感器的原理,，其在結(jié)構(gòu)上有如下特點(diǎn),，這無論對使用和設(shè)汁制造上都必須充分注意才能保證發(fā)揮IFM電容傳感器的長處,。
?、賹^緣要求高,，因此極板支持構(gòu)件或極板間絕緣材料均要求用有良好絕緣性能的如石英,、陶瓷,、聚四氟乙烯、云母等,。這是因?yàn)閭鞲衅麟娙菀话悴淮螅╬f級）,，因此是高阻抗，絕緣電阻作為其旁路,，必需比一般電器的絕緣電阻（幾兆歐）高出許多,，才不致于影響電容的性能。
?、谝芙?jīng)受外界環(huán)境（如溫度,、濕度、壓力等）的變化,，溫度會影響極板尺寸,，間隙大小以及介質(zhì)介電常數(shù);濕度對介電常數(shù)和絕緣電阻影響更大，嚴(yán)重時(shí)在極板上結(jié)露會危及正常工作;空氣壓力不僅會影響電容值,，甚至?xí)绊憳O板間耐壓強(qiáng)度;塵埃及腐蝕氣體亦都會影響正常工作,。因此材料上選用膨脹小，耐溫,、防腐的：結(jié)構(gòu)取形狀穩(wěn)定性好,、能防塵、隔溫,、防凝露的,。
?、垡M量減小極板間的邊緣場電容Ca。引線電纜的分布電容Cd,，極板與周圍導(dǎo)體等構(gòu)件構(gòu)成的寄生電容Cp,。因?yàn)樗鼈兪箓鞲衅鲗?shí)際電容增加，使隨被測量變化的相對值下降,，造成靈敏度降低,，此外它們隨外界條件隨機(jī)變化，會嚴(yán)重干擾傳感器隨被測量而變化的部分,。因此在結(jié)構(gòu)等方面的采取有相應(yīng)措施,，若是非接觸測量，被測件作為一個(gè)極板時(shí),，則希望它光潔,、平整、面積不小于另一極板,。
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