日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*-IAGD5集成化供氣系統(tǒng)產品特點:
【集成單元】
通過緊湊集成標準化部件,構建工藝氣體供氣線。
實現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路,。
從設計到裝配,、檢查完成后交付,可減少客戶的工時,。
日本喜開理CKD集成化供氣系統(tǒng)原裝*-IAGD5集成化供氣系統(tǒng)衍生系列:
IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件規(guī)格:
項 目: MMGD5-R MMGD5-1
使用流體: 惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G): 1.3×10-6~0.99
流體溫度 ℃: 5~80
環(huán)境溫度 ℃ : 5~80
閥座泄漏 Pa m3/s(He): 1.0×10-10
外部泄漏 Pa m3/s(He): 2.8×10-12
Cv值: 0.26
配管方式 : 1.125英寸,、W密封(公稱6.35)
閥體材質: SUS316L
膜片材質: Ni-Co合金
閥座材質: PCTFE
項 目: MFGD5-11D-W-1 MFGD5-11D-W-4
使用流體:惰性氣體·工藝氣體
使用壓力 Pa(abs)-MPa(G):1.3×10-6~0.7
流體溫度 ℃:-10~80
環(huán)境溫度 ℃:-10~80
閥座泄漏:大Cv值的1/100以下
外部泄漏 Pa?m3/s(He):2.8×10-12
Cv值(調整范圍):0.003-0.03 0.02-0.2
配管方式:1.125英寸、W密封(公稱6.35)
閥體材質:SUS316L
膜片材質:Ni-Co合金
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產品具體詳見:IAGD5集成化供氣系統(tǒng)元件