日本喜開理CKD減壓閥原裝*－MEVT薄型電空減壓閥
省配線,、小巧緊湊的薄型電空減壓閥,。
適合半導體、精密領(lǐng)域的各種按壓控制,、微速氣缸控制,。
日本喜開理CKD減壓閥原裝*－MEVT薄型電空減壓閥產(chǎn)品特點：
【薄型14mm、輕量80g】
集成度高,，多可進行24連集成,。
【省配線對應(yīng)】
支持串行傳輸（DeviceNet、CC-Link）,、集中端子臺,、D-Sub接插件。
【2方向安裝】
可從底面,、背面2個方向安裝,。
【高精度、高響應(yīng)】
重復精度：0.3%F.S.
響應(yīng)時間：0.1sec(空載時）
MEVT薄型電空減壓閥衍生系列：
MEVT薄型電空減壓閥規(guī)格：
注1：上述特性是指條件電源電壓24V 0.1VDC,、常溫測量時的特性,。
注2：串行傳輸型不包括模擬輸出。 Device Net對應(yīng)（T9DAR）,、CC-Link對應(yīng)（T9GAR）包括壓力監(jiān)視數(shù)據(jù),。（請參閱第579頁的串行傳輸從站規(guī)格。）
注3：上述特性是指環(huán)境溫度25±3°C,、無負荷,、使用壓力為高控制壓力×1.1（EVT100：110kPa、EVT500：0.55MPa）,，控制壓力10～*時的特性,。 另外，*于2次側(cè)為閉合回路時,，類似吹氣的使用方法會導致壓力變動,。
注4：上述特性是指將使用壓力設(shè)為高使用壓力、將控制壓力設(shè)為高控制壓力時的特性,。
注5：上述特性是指使用壓力為高使用壓力,、階段量為 50% F.S.→*F.S.時的特性。 50％ F.S.→ 60％ F.S. 50％ F.S.→ 40％ F.S.
注6：指示器僅為大致標準,，并非精度保證,。
MEVT薄型電空減壓閥集成規(guī)格：
※1：1個從站的大連數(shù)為T9DAR·T9GAR：4連。
MEVT薄型電空減壓閥型號表示方法：
選型時的注意事項
注1：輸入（P）·排氣（R）口的口徑請在集成規(guī)格書的電裝·供排氣模塊中,。
注2：輸入（P）·輸出（A）氣口中內(nèi)置有過濾器,。
MEVT薄型電空減壓閥其它用途事例
：
● 液體精密定量排出裝置
- IC芯片的粘接
- 基板焊膏
- 基板的涂層
- UV粘接劑等
● CMP研磨裝置
產(chǎn)品具體詳見：MEVT薄型電空減壓閥
