選用KNP真空泵時(shí)需要注意下列事項(xiàng)
1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,,選用的真空泵的真空度少要510-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。
2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn),。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),,泵的抽速隨壓強(qiáng)而變換,其穩(wěn)定地工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg,。因而,,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升泵可以在10-2mmHg下工作,,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。
3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。
如鈦升泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺三射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空泵。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用。
5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、檔油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求。
6,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器、除塵器等,。
7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或采取防振動(dòng)措施,。
9,、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用,。