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常用EPRO壓力傳感器原理及結(jié)構(gòu)介紹
伊里德代理EPRO振膜式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖（a）所示，振膜為一個(gè)平膜片,，且與環(huán)形殼體做成整體結(jié)構(gòu)，它和基座構(gòu)成密封的壓力測(cè)量室,，被測(cè)壓力p經(jīng)過(guò)導(dǎo)壓管進(jìn)入壓力測(cè)量室內(nèi),。參考?jí)毫κ铱梢酝ㄟ^(guò)大氣用于測(cè)量表壓,，也可以抽成真空測(cè)量絕壓,。裝于基座頂部的電磁線(xiàn)圈作為激振源給膜片提供激振力，當(dāng)激振頻率與膜片固有頻率一致時(shí),，膜片產(chǎn)生諧振。沒(méi)有壓力時(shí),，膜片是平的，其諧振頻率為f0,；當(dāng)有壓力作用時(shí),，膜片受力變形,，其張緊力增加,，則相應(yīng)的諧振頻率也隨之增加,，頻率隨壓力變化且為單值函數(shù)關(guān)系,。
在膜片上粘貼有應(yīng)變片，它可以輸出一個(gè)與諧振頻率相同的信號(hào),。此信號(hào)經(jīng)放大器放大后,，再反饋給激振線(xiàn)圈以維持膜片的連續(xù)振動(dòng)，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)正反饋?zhàn)约ふ袷幭到y(tǒng),。如圖（b）所示EPRO壓電式壓力傳感器,，某些電介質(zhì)沿著某一個(gè)方向受力而發(fā)生機(jī)械變形（壓縮或伸長(zhǎng)）時(shí),，其內(nèi)部將發(fā)生極化現(xiàn)象,，而在其某些表面上會(huì)產(chǎn)生電荷。當(dāng)外力去掉后,，它又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài),，此現(xiàn)象稱(chēng)為“壓電效應(yīng)”。常用的壓電材料有天然的壓電晶體（如石英晶體）和壓電陶瓷（如鈦酸鋇）兩大類(lèi),，它們的壓電機(jī)理并不相同,，壓電陶瓷是人造多晶體,，壓電常數(shù)比石英晶體高,，但機(jī)械性能和穩(wěn)定性不如石英晶體好,。它們都具有較好特性,，均是較理想的壓電材料。EPRO壓電式壓力傳感器是利用壓電材料的壓電效應(yīng)將測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的,。由壓電材料制成的壓電元件受到壓力作用時(shí)產(chǎn)生的電荷量與作用力之間呈線(xiàn)性關(guān)系：Q=kSp式中Q為電荷量，k為壓電常數(shù),，S為作用面積,，p為壓力,。通過(guò)測(cè)量電荷量可知被測(cè)壓力大小。
壓電元件夾于兩個(gè)彈簧之間,，壓電元件的一個(gè)側(cè)面與膜片接觸并接地,，另一側(cè)面通過(guò)引線(xiàn)將電荷量引出。被測(cè)壓均勻作用在膜片上,，使壓電元件受力而產(chǎn)生電荷,。電荷量一般用電荷放大器或電壓放大器放大，轉(zhuǎn)換為電壓或電流輸出,，輸出信號(hào)與被測(cè)壓力值相對(duì)應(yīng)。除在校準(zhǔn)用的標(biāo)準(zhǔn)EPRO壓力傳感器或高精度EPRO壓力傳感器中采用石英晶體做壓電元件外,，一般EPRO壓電式壓力傳感器的壓電元件材料多為壓電陶瓷,，也有用高分子材料（如聚偏二氟乙烯）或復(fù)合材料的合成膜的。
圖1為一種伊里德代理EPRO壓電式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。更換壓電元件可以改變壓力的測(cè)量范圍,；在配用電荷放大器時(shí),，可以用將多個(gè)壓電元件并聯(lián)的方式提高傳感器的靈敏度；在配用電壓放大器時(shí),，可以用將多個(gè)壓電元件串聯(lián)的方式提高傳感器的靈敏度,。EPRO壓電式壓力傳感器體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，工作可靠；測(cè)量范圍寬,，可測(cè)100MPa以下的壓力,；測(cè)量精度較高,；頻率響應(yīng)高，可達(dá)30kHz,，是動(dòng)態(tài)壓力檢測(cè)中常用的傳感器,，但由于壓電元件存在電荷泄漏，故不適宜測(cè)量緩慢變化的壓力和靜態(tài)壓力。EPRO振筒式壓力傳感器的感壓元件是一個(gè)薄壁金屬圓筒，圓柱筒本身具有一定的固有頻率,，當(dāng)筒壁受壓張緊后，其剛度發(fā)生變化,，固有頻率相應(yīng)改變,。
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