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大理石平臺主要用于平面度檢測,，大理石熱膨脹小，高精度的平臺往往用大理石的,，比如三坐標(biāo)的導(dǎo)軌,。高精度光刻，就用高精度000級大理石平臺,，一些芯片設(shè)備,，也是安裝在這類大理石平臺上的，產(chǎn)品的檢測,，也在這種大理石平臺檢測,，包括高級別的光學(xué)檢測。凡是與晶片有關(guān)的設(shè)備都是高的嚇人,，一臺辦公桌大小的大理石平臺價格可以上億元,，當(dāng)然精度也是高的嚇人了。

高精度000級大理石平臺是手磨的,，人依然是gao精度,，不是說人有多神奇，是人可以一點一點地研磨,，邊研磨邊測量,，而機器是沒有這種靈活性的，你到這種大平板廠子去看一下,，終的精度是人工玩出來的,，低精度是機器玩的。