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氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀 JB/T 8554-1997 說明方案
閱讀：93 發(fā)布時間：2025-3-11根據(jù)壓頭上自動連續(xù)增加的垂直載荷,，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續(xù)剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。
測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續(xù)加載電機,； B—聲發(fā)射探頭， 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機,； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣臺,； E—位移電機,， 用以勻速沿水平方向拖動試樣臺； F—切向摩擦力傳感器,， 連續(xù)檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機,； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器,； I—光學顯微鏡(≥40×),； J—信號放大器； K—變換控制器,； L—微型計算機（嵌入式工業(yè)電腦）,， 用以實施測試自控和自動處理數(shù)據(jù)， 并動態(tài)顯示及存貯數(shù)據(jù)與圖形,； M—試樣,； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機,， 輸出試驗結果,； P—壓頭加載機構； Q—主支架,。
執(zhí)行標準：JB/T 8554-1997
技術參數(shù)
控制系統(tǒng)：PLC+Windows系統(tǒng)
操作界面：彩色觸摸屏15寸,，嵌入式工業(yè)電腦
樣品尺寸：長方體： 長 40～50mm， 寬 30～45mm,， 高 6～20mm,； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm,；
樣品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h， 然后按規(guī)定步驟測試只需很少的測試次數(shù)即可評價劃痕特性,；
壓頭規(guī)格：按 GB/T 2848 規(guī)定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°,， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內(nèi))， 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭,， 確認其頂端是光滑潔凈的球面,， 方可使用。
劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置,；
加載速率： 對硬質(zhì)薄膜為(20～40)N/min,；對非硬質(zhì)薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;
精度： 0.03 N,；
電機：伺服電機86型+驅動器;
運動模式：絲桿+導軌,，精度0.001mm；
光學顯微鏡：50倍以上鏡片配置,；
曲線圖：加載壓力,，恒定壓力，摩擦力,，垂直載荷關系圖,，XY關系圖；
測試高度范圍：0-100mm,；
測試模式：往復式運動,，可單線運動，工業(yè)電腦觸摸屏上設置,；
運動范圍：Y距離0-900mm,，Y距離0-540mm;
用電：220V,120W,20A,50hz；
外形尺寸約：1000mm*600*640mm,；