FLY-MX12顯微鏡光學技術在亮度 ,、對比度和可操作性方面達了一個新的高度,， 適合晶圓或者顯示面板的高級檢查

FLY-MX12(落射照明型)

z大樣品尺寸：  ?300mm晶片

載物臺行程：350 × 300mm

放大倍率：50X - 1000X

(依目鏡和物鏡而定)

高對比度,，幾乎無雜光

為大幅度地減少雜光現象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能,。另外,目鏡筒內部的反射次數 也減少了,進一步減小了出現雜光的可能性,，同時獲得了前所wei有的高對比度,。

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實現了自然色彩高度再現，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術保證獲得高清晰圖像

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實現了自然色彩高度再現,，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術保證獲得高清晰圖像

調節(jié)手輪集中在機身前部

主要調節(jié)手輪和按鈕均位于底座前部,， 在觀察樣品的同時可進行快速,、 方便的操作，長時間觀察能大幅度地減輕疲勞,。

防靜電能力更強

機身,、載物臺、目鏡筒和各調節(jié)手輪均涂有消靜電涂層,，提高了抗污染能力,，防止樣品因靜電感應而受損，從而提高成品率,。

諾瑪斯基DIC觀察法（選配）

采用單棱鏡(Senarmont)系統(tǒng),，只 需在物鏡轉換器插入一個諾瑪斯基棱鏡，  即可以 任一倍率進行DIC觀察,。即使進行低倍率觀察,， DIC圖像也同樣清晰而鮮明，  幾乎沒有色陰影,。 高對比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像,。

X-Y微調操作手輪

X-Y微調操作手輪的固定位置*，  位于接近操作員之處,，  這一特 性使操作員不必伸長手臂移動載物臺,。樣品移動和對焦可由單 手在桌面上的完成，使操作員得以將注意力集中在樣品觀察上,。

明場觀察

無限遠光學技術產生高亮度,、高對比度的圖像。

暗場觀察

新開發(fā)的暗場照明光學技術極大地提高了圖像亮 度,，增強了檢測樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力,。

技術規(guī)格：