離子研磨系統(tǒng)使用通過在表面上照射氬離子束引起的濺射效應(yīng)來拋光樣品的表面,。樣品預(yù)處理系統(tǒng)可以用于電子和材料等各個領(lǐng)域的研發(fā)和質(zhì)量控制等。
此外,,日立高新開發(fā)了的寬區(qū)域橫截面研磨,,以實現(xiàn)橫截面研磨, 大研磨寬度為8mm,,從而可以制備比以往更大的截面樣品,。通過與下一代氬離子槍的協(xié)同效應(yīng),新的ArBlade 5000可以與市場上可用的任何其他離子系統(tǒng)一起制備廣域橫截面樣品,?! ∨c機械拋光不同,離子研磨系統(tǒng)處理樣品而不會變形或施加機械應(yīng)力,。因此,,用于預(yù)處理樣品的離子銑削系統(tǒng)的應(yīng)用范圍不斷擴大,不僅包括掃描電子顯微鏡(SEM),,還包括原子力顯微鏡(SPM / AFM)等,。離子銑削系統(tǒng)應(yīng)用范圍廣泛,日立高新收集了用戶在各種領(lǐng)域提供的關(guān)鍵性建議和改進,,并將它們納入到 新的設(shè)計平臺,。
新推出的ArBlade 5000具有混合研磨功能,能夠進行橫截面研磨,,是日立離子研磨系統(tǒng)的 家標(biāo)志,。此功能使樣品能夠根據(jù)所需的目的和應(yīng)用進行預(yù)處理。
ArBlade 5000還具有PLUS II離子槍技術(shù)設(shè)計,。這是一種新的氬離子槍,,可以實現(xiàn)了1mm/hr以上的截面銑削速度(日立高新的IM4000Plus型號的兩倍)。新系統(tǒng)使用戶能夠在比以前更短的時間內(nèi)準(zhǔn)備橫截面,,包括陶瓷和金屬等硬質(zhì)材料,,這往往需要較長的加工時間?!?/p>
主要特點
1.能夠進行橫截面和平面的混合研磨系統(tǒng),。
2.通過PLUS II離子槍技術(shù)設(shè)計高速氬離子槍實現(xiàn)1mm/hr或更高的橫截面研磨速度。
3.通過使用廣域橫截面研磨,實現(xiàn) 大寬度達8mm的廣域加工,。
4.基于采用LCD觸摸面板的控制系統(tǒng),,增強了可操作性。
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