商品規(guī)格

阻抗率計自動測繪系統(tǒng) MCP-S330

精確測量表面電阻率[Ω/ sq?]和體積電阻率[Ω/ cm?]不受樣本形狀的影響,。

導電膜,，金屬，金屬薄膜等的厚度和成份變化一目了然,。

• 可與Loresta GX連接,測量範圍:10-4至107Ω

• 全自動：測量,、算術、數(shù)據(jù)處理,、3D圖形輸出

• 樣品尺寸:300mm平方(可連續(xù)測量多張樣品)

• 除三種類型的測量位置組,，還可從外部源導入坐標數(shù)據(jù)：
  網(wǎng)格輸入、線輸入,、順序輸入

• 比較器功能:於範圍外之測量結果,，在螢幕上標示其測定點

• 測定對象:金屬，金屬薄膜,，導電塗料,，導電膜，片材等

 高精確阻抗率計檢測法

言
科技快速進步,，電子半導體的開發(fā)及應用,，往往會應產(chǎn)品的需求而相對提高成品組合間的品質，如:阻抗,、阻抗率,。目在半導體業(yè)間常需要此阻抗、阻抗率的數(shù)據(jù)來了解其相互之間問題,。由於以傳統(tǒng)的方式來測量需要耗費人力,、物力及時間去套入公式以求得結果，造成檢測中大困擾,，因此,，日東精工分析科技便研發(fā)了更方便的測量儀器來解決，不用再計算繁瑣的公式了,。符合了國際間的ISO 1853,、ISO 2878、ASTM D991,、JIS K 7194,、JIS R 1637。

1-1 概念
Resistance阻抗：阻抗被用於不同狀態(tài)和物質性質,，是做阻抗是隨物質形狀,、大小、測定位置不同而變化,。
Resistivity阻抗率：阻抗率乃為阻抗（Ω）乘以阻抗率校正因數(shù)（RCF）而來,，通常,，它要經(jīng)過番努力煩瑣的計算出校正因數(shù)後，才能換算得知,。而日東精工微電腦阻抗率計能於短時間內(nèi)輕易的精確處理出物質阻抗率,。
阻抗：測值會隨條件變化的。
阻抗率：是對絕對值,，對每個物質來說它只有個測值,。
例：測量黃金時

Resistance（Ω）
2.4× 10-8 Ω big< 2.4× 10-6 Ω bigger< 2.4× 10-2 Ω

Resistivity（Ωcm）
2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm changeNo.＝ 2.4× 10-6 Ωcm

“Ω"or“Ωcm"- which will you use for evaluating materials?

“Resistivity" is a simple index for classifying all the materials in the world.

1-2 阻抗（Resistance）和阻抗率計（Resistivity）之間的關係

～關鍵在阻抗率校正因數(shù)（RCF） ～
? Resistance阻抗（R），阻抗=電阻
當個電流（I）流穿物質,，其電的阻抗乃緣由入口與出口間有電位差（V）造成,，故以公式表此關係即歐姆定律(Ohm’s law)。
阻抗R（Ω）=V[V]/I[A]

? Volume Resistivity體積阻抗率（ρν）,，阻抗率=電阻係數(shù)
表示物質每單位體積之阻抗。
“體積阻抗率"也叫做"特殊阻抗Specific Resistance"或"阻抗率"
“體積阻抗率"是大部分利用於物質方面之用詞,；
“特殊阻抗"是共通於電學方之用詞,；
“阻抗率"常被用在物理學方面之用詞。
體積阻抗率 ρν [Ωcm] ＝R [Ω] × RCF× t
此單位“Ωcm"讀為“厘米歐姆"每物質為有單特性值為體積阻抗率,。

※Condductivity電導率（σ）
電導率是體積阻抗率的相反,，它又被叫“電的電導率"或“電導係數(shù)"。
電導率 σ [ /cm ]＝1/ρν,，此單位是“S/cm"讀做每厘米西門子,。

? Surface Resistivity表面阻抗率（ρs）

表示物質每單位表之阻抗。
“表面阻抗率"也叫做“單張阻抗"其單位為“Ω",。然而為了要和阻抗（Resistance）區(qū)分,，所以被寫為“Ω/□"或“Ω/sq"讀為“每歐姆平方"。
表面阻抗率因材質厚度不同而變化,，所以通常被利用於塗裝或薄膜方面,，相反的，它可被利用於厚度的判斷指標,。
表面阻抗率 ρ[ Ω/sq ] ＝ R[ Ω ] × RCF ＝ ρν× 1/t

? Resistivity Correction Factor阻抗率校正因數(shù)（RCF）
通常以金屬電極（4針探頭）固定於樣品表面以測得阻抗,。
阻抗乘以阻抗率因素而計算出體積阻抗率及表面阻抗率。 阻抗因數(shù)是依電極之形號,、尺寸,、內(nèi)針距離或樣品之形狀、尺寸,，測定位置而被確定求出,。
利用Poisson’s方程式可精確的求出於電磁學的確定電位。

1-3 阻抗率之計算 [傳統(tǒng)方法]
～阻抗率是物質之絕對值～