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薄膜納米厚度測(cè)量?jī)x自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)依靠F54良好的光譜測(cè)量系統(tǒng),，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖,。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度,，測(cè)試非常快速,，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn),。系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式,，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn),。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式?？蓽y(cè)樣品膜層基本上所有光滑的
詳細(xì)介紹
薄膜納米厚度測(cè)量?jī)x
自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)
依靠F54良好的光譜測(cè)量系統(tǒng),，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái),，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非?？焖?，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形,、方形和線性的圖形模式,，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式,。
可測(cè)樣品膜層
基本上所有光滑的,。非金屬的薄膜都可以測(cè)量?？蓽y(cè)樣品包括：
氧化硅 | 氮化硅 | 類金剛石DLC |
光刻膠 | 聚合物 | 聚亞酰胺 |
多晶硅 | 非晶硅 | 硅 |
薄膜納米厚度測(cè)量?jī)x
相關(guān)應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
• 光刻膠• 氧化物/氮化物/SOI• 晶圓研磨減薄/封裝
液晶顯示器
• 盒厚• 聚酰亞胺• ITO
光學(xué)鍍膜
• 硬涂層• 抗反射涂層• 濾光片
微電子
• 光刻膠• 硅膜• 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
