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日本INTECS目視檢查用鹵素光源裝置UIH-1H
ランプ定格 | 15V 150W |
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設計照射徑と距離 | ランプ鏡筒先端から180mmでφ40mm |
高輝度 | 上記照射徑中央にて約5萬ルクス |
50萬ルクス時の照射徑 | 約φ45mm |
倍徑時距離と輝度 | 360mm 約15萬ルクス |
輝度偏差と可変幅 | 高輝度偏差:上限10%、下限20% 可変幅 10:1以上 |
高輝度ランプ壽命 | 50時間以上 |
半輝度ランプ壽命 | 800時間以上 |
調(diào)光方式 | SCR位相制御 |
ランプハウス內(nèi)冷卻 | ファンによる強制空冷方式 |
ランプハウス內(nèi)発熱監(jiān)視 | 無し |
ランプハウス冷卻保持(※1) | 無し |
電源 | AC100V トランス式 |
総重量 | 約7kg |
※1 ランプ保護の為,、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス內(nèi)の溫度が約40℃以下になるまで
ファンによる冷卻を保持する機能
ポリッシュウエハーに照射すると3條の検査マークを投影します,。
インテックス製品をお買い上げいただきありがとうございます。 ? 本書をよくお読みのうえ,、安全にお使いください,。 ? 本書は直ぐに利用できるように大切に保管してください。
超高輝度検査用照明裝置(UIH-1H型)
目的,、用途 ポリッシュウエハーのヘイズ(曇り量)を検査する裝置です。ポリッシュウエハーの照 射面に3條の検査マークを投影します,。TAM-1C型は輝度重視の製品ですが,、1H型 は結(jié)像を重視した明るさになっております。 ※1 半導體ウエハー,、マスクガラス,、光學部品、レンズ等
超高輝度検査用照明裝置を安全にご使用いただくために ご使用前に,,この「安全にご使用いただくために」をよくお読みのうえ,,正しくお使い ください,。ここに示した注意事項は,製品を安全にお使いいただき,,あなたや他の人々へ の危害や損害を未然に防止するためのものです,。
◆手順6 終了時 ?ランプスイッチを STANDING BY にし、冷卻の為3分以上経ってから INTENSITY ノブ を 左一杯に回し,、電源を切斷して下さい,。 ランプ壽命について ?高輝度で50時間 ?半輝度で800時間 輝度と照射面積について 輝度は照射面積に反比例します。 照射面積を必要低限に調(diào)整し,、INTENSITY ノブにて必要輝度に調(diào)整することにより,、ラ ンプ壽命を延ばすことが出來ます。 消耗品について UIH-1C専用 15V 150W ダイクロックミラー形ハロゲンランプ 1 箱 10 個入 ヒューズ ミゼット型 5A 5 本入 を販売しております,。
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