canon-anelva控制裝置P-511 IP P-521 IP

 離子泵/貴族泵控制裝置 P-500系列

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 它是一種控制裝置，可在 10-2Pa 至 10-4Pa 或更低的高真空范圍內(nèi)操作離子泵或惰性泵,。 顯示屏使用大型綠色 LED 來提高遠(yuǎn)距離的可見度,。 在考慮與傳統(tǒng)型號(hào)的兼容性的同時(shí),，我們實(shí)現(xiàn)了改進(jìn)的功能、CE 和 RoHS 合規(guī)性,。 除了全系列的 I/0 功能外,，它是自動(dòng)化設(shè)備和遠(yuǎn)程控制設(shè)備的理想選擇，因?yàn)樗梢酝ㄟ^添加選項(xiàng)板支持 RS232C 通信,。 離子泵和惰性泵有超高真空型和大功率型兩種,，工作壓力范圍和啟動(dòng)壓力因連接的泵而異

 特征 高性能 實(shí)現(xiàn)高電壓電源所需的高級(jí)基礎(chǔ)功能，例如提高監(jiān)控電流和電壓值時(shí)的最小可顯示值,，增加壓力顯示,，以及各種保護(hù)功能。硬工藝支持 全功能 支持2點(diǎn)設(shè)定點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備等各種I/O標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的外部控制停電自動(dòng)恢復(fù)（可選） 高兼容性 確保遠(yuǎn)程連接器,、輸入電纜和輸出電纜與傳統(tǒng)型號(hào)的兼容性 溝通支持 RS232C（可選（出廠內(nèi)置）） 合格標(biāo)準(zhǔn) CE 標(biāo)志,，符合 RoHS 指令 用 電子顯微鏡、電子束光刻系統(tǒng) 離子束裝置,、掩模修復(fù)裝置 加速器相關(guān)系統(tǒng),，例如存儲(chǔ)環(huán)和光束線 MBE、表面分析儀,、各種分析儀等超高真空設(shè)備

イオンポンプ制御裝置