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東莞品雅專(zhuān)業(yè)維修愛(ài)德華螺桿真空泵IH600/1000

愛(ài)德華真空泵針對(duì)不同的行業(yè)，推出不同的真空泵配型,，不同的行業(yè),，由于使用環(huán)境和工作運(yùn)行狀態(tài)不同，需要的產(chǎn)品功能不同,，因此愛(ài)德華真空泵產(chǎn)品類(lèi)型眾多,，沒(méi)一款產(chǎn)品都是針對(duì)不同的行業(yè)使用有著非常明顯的效果，在高真空和超高真空領(lǐng)域有著非常強(qiáng)大的,。

愛(ài)德華真空泵IH600/IH1000在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的使用,，一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用，可以更快的為客戶(hù)提供所需真空,，同時(shí)螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒,，腐蝕性氣體非常合適。

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行,。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,，同時(shí)地減小占地面積,、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性,。

行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

IH600訂貨號(hào)：

iH600 干式泵 460V,，60 Hz,，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,，50 Hz,，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz,，3 相
A59020957

愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600參數(shù)：

IH1000參數(shù)：

iH1000 干式泵 460V,，60 Hz，3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,，50/60 Hz,，3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,，50 Hz，3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,，60 Hz,，3 相
A59030957