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THOMAS真空泵是用來(lái)干什么的
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真空泵是利用機(jī)械、物bai理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備,。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善,、產(chǎn)生和維持真空的裝置,。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu),，立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,，裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差,，故這種型式多用于小泵,。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下,。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn),、排氣方向是相互垂直的,。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口,，除接排氣管道一端外,，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好,。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu),。
THOMAS真空泵是用來(lái)干什么的泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝,。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便,，泵占地面積小,。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜,。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用：
1,、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2,、半導(dǎo)體刻蝕工藝,。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3,、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,，不希望微粒混入泵油中,，而希望微粒排出泵外,，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4、在化學(xué)工業(yè),、醫(yī)藥工業(yè),、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥,、脫泡,、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染,，適合用干式真空泵,；5、用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,，以防止油污染,。
真空泵是用來(lái)在某一封閉bai空間中改善、產(chǎn)生du和維持真空的裝zhi置,。
真空泵是指利用機(jī)械,、物理、化學(xué)或dao物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備,。通俗來(lái)講,，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置,。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型,，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵,。其廣泛用于冶金、化工,、食品,、電子鍍膜等行業(yè)。
真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu),。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn),、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便,。但泵的重心較高,，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵,。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度,。因此,，為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置,。為達(dá)到佳配置,，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)考慮下述各點(diǎn)：
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度,。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,，必須認(rèn)真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度,。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,，比前級(jí)泵的極限真空度低50%,。
檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),，泵系統(tǒng)將被污染,。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間,、真空管道的流阻與泄漏,。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率,。THOMAS真空泵是用來(lái)干什么的