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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定,；滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能,；
與傳統(tǒng)CVD相比較.生長(zhǎng)溫度更低
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定,；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū),；
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較,，生長(zhǎng)溫度更低,。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計(jì)溫度：1150℃（短期）
額定溫度：1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸：Φ80*220mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度：220mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：80mm
加熱元件：優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲
額定功率：3KW
供氣系統(tǒng)：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射頻電源：
①射頻功率：5-500W；
②射頻頻率：13.56MHz,；
③匹配方式：自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng)：雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
