產品簡介
詳細介紹
SZ-ST2258C型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅,、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》,、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標準,。
特點:
主機主要由精密恒流源,、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,。儀器所有參數(shù)設定,、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位,、滿度自校功能,;電壓電流全自動轉換量程;測試結果由數(shù)字表頭直接顯示,。本測試儀特贈設測試結果分類功能,,大分類10類。
儀器具有測量精度高,、靈敏度高,、穩(wěn)定性好、智能化程度高,、結構緊湊,、使用簡便等特點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位,、高等院校對導體,、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,。
技術參數(shù):
1. 測量范圍,、分辨率(括號內為可向下拓展1個數(shù)量級)
電 阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 Ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 Ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)
直 徑: SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,,手持方式不限.
長(高)度: 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向,、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 |
常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | --- | ||||
大拓展量程 | --- | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | ±1.0%FSB ±4LSB |
4.工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W
5.外形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)
凈 重:≤1.5~2.0kg
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配,。有高耐磨碳化鎢探針探頭,,以測試硅類半導體、金屬,、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻,;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜,、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,,還可對電阻器體電阻,、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量,。配探頭,,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺,。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率,。
儀器成套組成:由主機,、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成,。
SZ-M-2型手持式數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
SZ-M-2型手持式數(shù)字式四探針測試儀具有測量精度高,、靈敏度高,、穩(wěn)定性好、智能化程度高,、結構緊湊,、使用簡便等特點,。適用于半導體材料廠器件廠、科研單位,、高等院校對導體,、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,。
基本技術參數(shù)
1. 測量范圍,、分辨率
電 阻: 0.010 ~ 9999Ω, 分辨率0.001 ~ 1 Ω
電 阻 率: 0.010~ 2000Ω-cm, 分辨率0.001 ~ 1 Ω-cm
方塊電阻: 0.050~ 2000Ω/□ 分辨率0.001 ~ 1 Ω/□
2. 材料尺寸
手持方式不限材料尺寸,,但加配測試臺則由選配測試臺和測試方式決定
直 徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm。
SZT-C方測試臺直接測試方式180mm×180mm,。
長(高)度:測試臺直接測試方式 H≤100mm,。.
測量方位: 軸向、徑向均可.
3. 量程劃分及誤差等級
量程(Ω-cm/□) | 9.999 | 99.99 | 999.9 | 9999. |
電阻測試范圍 | 0.010~9.999 | 9.99~99.99 | 99.99~999.9 | 999.9~9999 |
電阻率/方阻 | 0.010/0.050~9.999 | 9.99~99.99 | 99.99~999.9 | 999.9~2000 |
基本誤差 | ±1%FSB±2LSB | ±2%FSB±2LSB |
4) 適配器工作電源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W,,或電池供電
5) 外形尺寸:W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
凈 重:≤0.5kg
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,,以測試硅類半導體,、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻,;也有球形鍍金銅合金探針探頭,,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻,。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻,、金屬導體的低,、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配探頭,,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻,。
配ST2253-F01測硅片電阻率
配ST2253-F01測硅片電阻率
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭等二部分組成,,也可加配測試臺,。
主機主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC,、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,,自動轉換量程。儀器所有參數(shù)設定,、功能轉換全部采用一旋鈕輸入,;具有零位、滿度自校功能;全自動轉換量程,;測試結果由數(shù)字表頭直接顯示,。本測試儀采用可充電電池供電,適合手持式變動場合操作使用,!