蝕刻液是半導(dǎo)體制造流程中重要的化學(xué)品之一,，其配方的成分含量和純度,，對器件的性能具有關(guān)鍵影響。ICP,、IR,、LC、MS均是常用的分析手段,，沃特世專注液相色譜分離(LC)和質(zhì)譜(MS)檢測的分析平臺研發(fā),，無論是提升日常分析的簡易性，還是借助多一維分子量信息進行快速監(jiān)控,，均有對應(yīng)的色譜質(zhì)譜技術(shù)助力原料放行,、配方研發(fā)、質(zhì)控和問題溯源,。
蝕刻液中的離子殘留,，在液相色譜分析中非常容易帶來基線的波動和結(jié)果的偏差。在PEG組分分析中,，質(zhì)譜檢測器(QDa)多一維質(zhì)荷比的優(yōu)勢,，可以助力更好地采集特定離子的譜圖信息，降低背景基線干擾,，日常質(zhì)控方法更穩(wěn)定,。
流動相A：0.1%甲酸水
流動相B：甲醇
流速：0.5 mL/min
梯度條件：
%A 0.00 90.0 10.0
%B 5.00 90.0 10.0
進樣量：10 μL
SIR采集：m/z 459.3聚乙二醇400
電離模式：ESI(+)
采樣率：10 點/秒
毛細管電壓：1.5 kV
錐孔電壓：30 V
源內(nèi)溫度：300 ℃
圖1.PEG400 SIR采集色譜圖和質(zhì)譜圖(m/z459.36)。
在原料放行和過程分析中,，需要把控品質(zhì)和快速判斷批次穩(wěn)定性,，但由于蝕刻液樣品中的酸、金屬鹽等組分,，在色譜分離前需要較為復(fù)雜的前處理步驟,。而借助質(zhì)譜的直接進樣探桿，無需或只需很少的樣品前處理,，一次性玻璃毛細管蘸取樣品插入質(zhì)譜中進行表征,。
該技術(shù)在Waters SQD2、Xevo家族串聯(lián)四極桿,、四極桿串聯(lián)飛行時間質(zhì)譜平臺上均可輕松配置,，擴展多樣化進樣分析能力，固體,、液體,、半固體均可實現(xiàn)質(zhì)譜直接分析。
圖2.ASAP操作流程(蘸取樣品 - 插入質(zhì)譜 - 自動觸發(fā)采集),。
圖3.利用ASAP快速表征PEG成分(不同供應(yīng)商比較),。
沃特世質(zhì)譜平臺化的設(shè)計理念，讓多種類樣本分析能力大大提升,，輕松應(yīng)對半導(dǎo)體生產(chǎn)中涉及的各種材料,。如您有興趣了解完整解決方案,，
沃特世半導(dǎo)體行業(yè)解決方案，涵蓋光刻流程中所應(yīng)用到的化學(xué)品分析,，從液相色譜分離到高靈敏度質(zhì)譜表征以及高分辨未知成分定性,，提供快速的色譜質(zhì)譜解決方案。從小分子到大分子,，從日常質(zhì)控,、過程放行、到配方剖析,，涉及光刻膠,、蝕刻液、電鍍液,、研磨液等多種材料分析需求,。
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