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工業(yè)型原子力顯微鏡
FM-NanoviewLS-AFM
◆ 實現(xiàn)樣品保持不動,,探針移動掃描的原子力顯微鏡,;
◆ 采用閉環(huán)三軸獨立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描,;
◆ 樣品尺寸,、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測,;
◆ 龍門架式掃描頭設計,,大理石底座,真空吸附式載物臺;
◆ 超大行程二維電動樣品移動臺,,快速選擇感興趣的樣品區(qū)域,;
◆ 高倍光學定位系統(tǒng),實現(xiàn)探針
工業(yè)型原子力顯微鏡技術(shù)參數(shù)
◆ 基本工作模式:接觸,、輕敲,、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量,、摩擦力/側(cè)向力,、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 選配工作模式:Profile線快速測量模式
◆ 最大樣品尺寸:Φ≥300mm,,H≥50mm
◆ 閉環(huán)掃描范圍:XY向100um,,Z向10um
◆ 閉環(huán)掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍:300mm×300mm
◆ 輔助光學定位:10X物鏡,,光學分辨率1um(可選配20X,,光學分辨率0.8um)
◆ 氣動式減震臺,減震頻率0.5Hz
◆ 噪音水平:<0.1nm
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,,Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)