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四探針電阻率測試儀使用特點
閱讀：283 發(fā)布時間：2021-7-5| 提 供 商 | 北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司 | 資料大小 | 2.9KB |
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四探針電阻率測試儀 型號：KDY-1
四探針電阻率/方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導體材料（主要是硅單晶、鍺單晶,、硅片）電阻率,，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）,、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,，在測量電阻率的同時,，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,，更及時掌控測量電流,。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定,。本機配有恒流源開關,，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,，更好地保護箔膜,。“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%,。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度,。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,，測量硅片時可自動進行厚度、直徑,、探針間距的修正,，并計算、打印出硅片電阻率,、徑向電阻率的Z大百分變化,、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋,。給測量帶來很大方便,。
2、主機技術(shù)能數(shù)
（1）測量范圍：
可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm
可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸出電源：≥1000ΩM
（4）供電電源：
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
（5）使用環(huán)境：
溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
無的電場干擾,，無強光直接照射
（6）重量,、體積：
主機重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）
備注：
等級測量時（測電阻率），精度<3%
電氣測量時（測電阻）,，精度在0.3%以內(nèi)