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超景深光學顯微鏡是一種結合高分辨率成像和擴展景深的技術，能夠在單次成像中捕捉樣品不同深度的清晰圖像,。

它的主要測量功能包括表面形貌分析,、三維結構重建、微米級尺寸測量、輪廓評估,、微觀缺陷檢測以及動態(tài)過程觀測,。

例如，在材料科學中可用于檢測金屬或陶瓷表面的劃痕和紋理,，在半導體行業(yè)能精確測量電路板的線寬和孔徑,，在生物領域可重建細胞或組織的三維模型并量化體積參數(shù)。此外,，它還能實時觀察材料在高溫或壓力下的形變過程,，或檢測芯片制造中的微裂紋,、氣泡等缺陷,。