儀器簡(jiǎn)介：
應(yīng)用：
◆薄膜厚度測(cè)量；
◆樣品表面形貌測(cè)量,；
◆薄膜應(yīng)力測(cè)量,；
◆樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量；
◆樣品表面三維形貌測(cè)量等,。
技術(shù)參數(shù)：
KLA-Tenco探針式臺(tái)階儀,，可測(cè)量納米級(jí)至2毫米臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度,、波紋度,、應(yīng)力，集高測(cè)量精度,、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體,，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及分辨率,
主要特點(diǎn)：
◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭,，經(jīng)久耐用,。探針更換簡(jiǎn)便、快速,，軟件具有保護(hù)測(cè)針以免發(fā)生損壞功能,；
◆探針掃描是雙向的,，即可以從左向右，又可以從右向左,；
◆無(wú)論何時(shí)只要測(cè)針下伸的時(shí)間超過(guò) 60 秒,，但仍然沒(méi)有開(kāi)始掃描，測(cè)針將自動(dòng)升起,；
◆當(dāng)測(cè)針達(dá)到其測(cè)量范圍的上*,，測(cè)針自動(dòng)縮回，掃描終止,；（備注：當(dāng)測(cè)針達(dá)到其上*,，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見(jiàn),，可以用程序設(shè)置升降器,，使其僅可以降低到一個(gè)預(yù)設(shè)的限制；
◆可為用戶提供中文操作界面,，可以提供中文操作手冊(cè),；
◆軟件界面友好，簡(jiǎn)單易學(xué),，功能大,。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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