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臺階輪廓測試儀kia-tencor在半導(dǎo)體的應(yīng)用

閱讀:1498      發(fā)布時間:2019-1-25
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儀器簡介:
 

應(yīng)用:
◆薄膜厚度測量,;
◆樣品表面形貌測量,;
◆薄膜應(yīng)力測量;
◆樣品表面粗糙度/波紋度測量,;
◆樣品表面三維形貌測量等,。



技術(shù)參數(shù):
 

KLA-Tenco探針式臺階儀,可測量納米級至2毫米臺階高度,,并可分析薄膜表面粗糙度,、波紋度、應(yīng)力,,集高測量精度,、多功能性和經(jīng)濟性于一體,是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇,。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及分辨率,


主要特點:
 

◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭,,經(jīng)久耐用。探針更換簡便,、快速,,軟件具有保護測針以免發(fā)生損壞功能;
◆探針掃描是雙向的,即可以從左向右,,又可以從右向左,;
◆無論何時只要測針下伸的時間超過 60 秒,但仍然沒有開始掃描,,測針將自動升起,;
◆當(dāng)測針達到其測量范圍的上*,測針自動縮回,,掃描終止,;(備注:當(dāng)測針達到其上*,屏幕上的跡線停止上升,,而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見,,可以用程序設(shè)置升降器,使其僅可以降低到一個預(yù)設(shè)的限制,;
◆可為用戶提供中文操作界面,,可以提供中文操作手冊;
◆軟件界面友好,,簡單易學(xué),,功能大。

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