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產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備海德漢光柵尺
LIC 2119,，LIC 2199 式直線光柵尺，大測量長度3 m
? 測量步距0.1 µm或0.05 µm
? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中
? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備海德漢光柵尺

LIC 2119,，LIC 2199 式直線光柵尺,，大測量長度3 m

• 測量步距0.1 µm或0.05 µm

• 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中

• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

規(guī)格	LIC 2109
測量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù)	軌道鋼卷尺 αtherm？10 x 10–6 k–1
精度等級	±15 µm
測量長度ml*in mm	120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020 (根據(jù)要求測量長度大于6020 mm)
質(zhì)量	20 g/m

讀數(shù)頭	LIC 211	LIC 219 F	LIC 219 M		LIC 219 P
界面	EnDat 2.2	Fanuc串行接口 αi界面	三菱高速接口		松下串行接口
訂購名稱*	EnDat22	Fanuc05	Mit03-4	Mit02-2	Pana01
測量步驟*	0.1 µm (100 nm) 0.05 µm (50 nm)
計算時間tcal 時鐘頻率	≤ 5 µs ≤ 16 MHz	– –
橫移速度1）	≤ 600 m/min
插值誤差	±2 µm
電氣連接*	電纜,，1 m或3 m,，帶8針M12接頭（公接頭）或15 D-Sub接頭（公接頭）
電纜長度（帶海德漢電纜）	≤ 100 m	≤ 50 m	≤ 30 m		≤ 50 m
電壓供應(yīng)	DC 3.6 V to 14 V
功耗1（大）	At 3.6 V: ≤ 700 mW At 14 V: ≤ 800 mW	At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW
電流消耗（典型）	At 5 V: 75 mA (without load)	At 5 V: 95 mA (without load)
振動 55 Hz to 2000 Hz 沖擊 6 ms	≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)
工作溫度	–10 °C to 70 °C
質(zhì)量掃描頭連接電纜連接器	≤ 18 g (without cable) 20 g/m M12接頭：15g；D-Sub接頭：32g
*訂購時請選擇 1）參見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息,。

如有需要詳情,，請見： 半導(dǎo)體業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備海德漢光柵尺

安裝指導(dǎo)

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活，可安裝在機床的不同部位,。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上,，隨機床走刀而動，讀數(shù)頭固定在床身上,，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方,。其安裝方式的選擇必須注意切屑、切削液及油液的濺落方向,。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時,，則必須增加輔助密封裝置。另外,，一般情況下,，讀數(shù)頭應(yīng)盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導(dǎo)線不移動易固定,，而尺身則應(yīng)安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。

1,、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時,，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上，更不能安裝在打底涂漆的機床身上,。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上,。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導(dǎo)軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上,，移動工作臺,，要求達(dá)到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達(dá)到這個要求,，則需設(shè)計加工一件光柵尺基座,。

基座要求做到：(1)應(yīng)加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（hao基座長出光柵尺50mm左右）。(2)該基座通過銑、磨工序加工,，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi),。另外，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座,。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm,。安裝時，調(diào)整讀數(shù)頭位置,，達(dá)到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右。

2,、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上,，但不要上緊，把千分表固定在床身上,，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）,。用千分表測量主尺平面與機床導(dǎo)軌運動方向的平行度，調(diào)整主尺M(jìn)4螺釘位置,，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,，把M2螺釘*上緊。

在安裝光柵主尺時,，應(yīng)注意如下三點：

(1) 在裝主尺時,，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭,，尚需在整個主尺尺身中有支撐,。(2)在有基座情況下安裝好后，hao用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）,。(3)不能安裝卡子時,，hao用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好,。

3,、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝

在安裝讀數(shù)頭時，首先應(yīng)保證讀數(shù)頭的基面達(dá)到安裝要求,，然后再安裝讀數(shù)頭,，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭,，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi),，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。

4,、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后,，一定要在機床導(dǎo)軌上安裝限位裝置,，以免機床加工產(chǎn)品移動時讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺,。另外,，用戶在選購光柵線位移傳感器時，應(yīng)盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺,，以留有余量,。

5、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后,，可接通數(shù)顯表,，移動工作臺，觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常,。

在機床上選取一個參考位置,，來回移動工作點至該選取的位置。數(shù)顯表讀數(shù)應(yīng)相同（或回零）,。另外也可使用千分表（或百分表）,，使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置,，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*,。

通過以上工作，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了,。但對于一般的機床加工環(huán)境來講,，鐵屑、切削液及油污較多,。因此,，傳感器應(yīng)附帶加裝護(hù)罩，護(hù)罩的設(shè)計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定,，護(hù)罩通常采用橡皮密封,，使其具備一定的防水防油能力

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