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半導體業(yè)的測量和生產設備海德漢光柵尺
LIC 2119，LIC 2199 式直線光柵尺,，大測量長度3 m
? 測量步距0.1 µm或0.05 µm
? 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中
? 由光柵尺和讀數頭組成

詳細介紹

半導體業(yè)的測量和生產設備海德漢光柵尺

LIC 2119，LIC 2199 式直線光柵尺,，大測量長度3 m

• 測量步距0.1 µm或0.05 µm

• 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中

• 由光柵尺和讀數頭組成

規(guī)格	LIC 2109
測量標準線膨脹系數	軌道鋼卷尺 αtherm,？10 x 10–6 k–1
精度等級	±15 µm
測量長度ml*in mm	120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020 (根據要求測量長度大于6020 mm)
質量	20 g/m

讀數頭	LIC 211	LIC 219 F	LIC 219 M		LIC 219 P
界面	EnDat 2.2	Fanuc串行接口 αi界面	三菱高速接口		松下串行接口
訂購名稱*	EnDat22	Fanuc05	Mit03-4	Mit02-2	Pana01
測量步驟*	0.1 µm (100 nm) 0.05 µm (50 nm)
計算時間tcal 時鐘頻率	≤ 5 µs ≤ 16 MHz	– –
橫移速度1）	≤ 600 m/min
插值誤差	±2 µm
電氣連接*	電纜，1 m或3 m,，帶8針M12接頭（公接頭）或15 D-Sub接頭（公接頭）
電纜長度（帶海德漢電纜）	≤ 100 m	≤ 50 m	≤ 30 m		≤ 50 m
電壓供應	DC 3.6 V to 14 V
功耗1（大）	At 3.6 V: ≤ 700 mW At 14 V: ≤ 800 mW	At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW
電流消耗（典型）	At 5 V: 75 mA (without load)	At 5 V: 95 mA (without load)
振動 55 Hz to 2000 Hz 沖擊 6 ms	≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)
工作溫度	–10 °C to 70 °C
質量掃描頭連接電纜連接器	≤ 18 g (without cable) 20 g/m M12接頭：15g,；D-Sub接頭：32g
*訂購時請選擇 1）參見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息。

如有需要詳情,，請見： 半導體業(yè)的測量和生產設備海德漢光柵尺

安裝指導

光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,，可安裝在機床的不同部位。

一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上,，隨機床走刀而動,，讀數頭固定在床身上,，盡可能使讀數頭安裝在主尺的下方。其安裝方式的選擇必須注意切屑,、切削液及油液的濺落方向,。如果由于安裝位置限制必須采用讀數頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置,。另外，一般情況下,，讀數頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上,，此時輸出導線不移動易固定，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）,。

1,、光柵尺線位移傳感器安裝基面

安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,，更不能安裝在打底涂漆的機床身上,。光柵主尺及讀數頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度,。千分表固定在床身上,，移動工作臺，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內,。如果不能達到這個要求,，則需設計加工一件光柵尺基座。

基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（hao基座長出光柵尺50mm左右）,。(2)該基座通過銑,、磨工序加工，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內,。另外,，還需加工一件與尺身基座等高的讀數頭基座。讀數頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm,。安裝時,，調整讀數頭位置，達到讀數頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右,，讀數頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右,。

2、光柵尺線位移傳感器主尺安裝

將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上,，但不要上緊,，把千分表固定在床身上，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）,。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度,，調整主尺M4螺釘位置,，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內時，把M2螺釘*上緊,。

在安裝光柵主尺時,，應注意如下三點：

(1) 在裝主尺時，如安裝超過1.5M以上的光柵時,，不能象橋梁式只安裝兩端頭,，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后,，hao用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）,。(3)不能安裝卡子時，hao用玻璃膠粘住光柵尺身,，使基尺與主尺固定好,。

3、光柵尺線位移傳感器讀數頭的安裝

在安裝讀數頭時,，首先應保證讀數頭的基面達到安裝要求,，然后再安裝讀數頭，其安裝方法與主尺相似,。后調整讀數頭,，使讀數頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內，其讀數頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內,。

4,、光柵尺線位移傳感器限位裝置

光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置,，以免機床加工產品移動時讀數頭沖撞到主尺兩端,，從而損壞光柵尺。另外,，用戶在選購光柵線位移傳感器時,，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量,。

5,、光柵尺線位移傳感器檢查

光柵線位移傳感器安裝完畢后，可接通數顯表,，移動工作臺,，觀察數顯表計數是否正常。

在機床上選取一個參考位置,，來回移動工作點至該選取的位置,。數顯表讀數應相同（或回零）。另外也可使用千分表（或百分表）,，使千分表與數顯表同時調至零（或記憶起始數據）,，往返多次后回到初始位置,，觀察數顯表與千分表的數據是否*。

通過以上工作,，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了,。但對于一般的機床加工環(huán)境來講，鐵屑,、切削液及油污較多,。因此，傳感器應附帶加裝護罩,，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定,，護罩通常采用橡皮密封，使其具備一定的防水防油能力

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