半導體業(yè)的測量和生產(chǎn)設備海德漢光柵尺
LIC 2119,，LIC 2199 式直線光柵尺,，大測量長度3 m
• 測量步距0.1 µm或0.05 µm
• 鋼光柵尺帶嵌入在安裝面中
• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
規(guī)格 | LIC 2109 | |
測量標準 線膨脹系數(shù) | 軌道鋼卷尺 αtherm,？10 x 10–6 k–1 |
精度等級 | ±15 µm |
測量長度ml*in mm | 120 320 520 770 1020 1220 1520 2020 2420 3020 (根據(jù)要求測量長度大于6020 mm) |
質(zhì)量 | 20 g/m |
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讀數(shù)頭 | LIC 211 | LIC 219 F | LIC 219 M | LIC 219 P |
界面 | EnDat 2.2 | Fanuc串行接口 αi界面 | 三菱高速接口 | 松下串行接口 |
訂購名稱* | EnDat22 | Fanuc05 | Mit03-4 | Mit02-2 | Pana01 |
測量步驟* | 0.1 µm (100 nm) 0.05 µm (50 nm) |
計算時間tcal 時鐘頻率 | ≤ 5 µs ≤ 16 MHz | – – |
橫移速度1） | ≤ 600 m/min |
插值誤差 | ±2 µm |
電氣連接* | 電纜，1 m或3 m,，帶8針M12接頭（公接頭）或15 D-Sub接頭（公接頭） |
電纜長度（帶海德漢電纜） | ≤ 100 m | ≤ 50 m | ≤ 30 m | ≤ 50 m |
電壓供應 | DC 3.6 V to 14 V |
功耗1（大） | At 3.6 V: ≤ 700 mW At 14 V: ≤ 800 mW | At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW |
電流消耗
（典型） | At 5 V: 75 mA (without load) | At 5 V: 95 mA (without load) |
振動 55 Hz to 2000 Hz 沖擊 6 ms | ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60068-2-27) |
工作溫度 | –10 °C to 70 °C |
質(zhì)量掃描頭 連接電纜 連接器 | ≤ 18 g (without cable) 20 g/m M12接頭：15g；D-Sub接頭：32g |
*訂購時請選擇 1）參見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息,。 |
如有需要詳情,，請見： 半導體業(yè)的測量和生產(chǎn)設備海德漢光柵尺
安裝指導
光柵尺線位移傳感器的安裝比較靈活,，可安裝在機床的不同部位,。
一般將主尺安裝在機床的工作臺（滑板）上,，隨機床走刀而動,，讀數(shù)頭固定在床身上,，盡可能使讀數(shù)頭安裝在主尺的下方,。其安裝方式的選擇必須注意切屑,、切削液及油液的濺落方向,。如果由于安裝位置限制必須采用讀數(shù)頭朝上的方式安裝時，則必須增加輔助密封裝置,。另外，一般情況下,，讀數(shù)頭應盡量安裝在相對機床靜止部件上，此時輸出導線不移動易固定,，而尺身則應安裝在相對機床運動的部件上（如滑板）。
1、光柵尺線位移傳感器安裝基面
安裝光柵尺傳感器時，不能直接將傳感器安裝在粗糙不平的機床身上,，更不能安裝在打底涂漆的機床身上。光柵主尺及讀數(shù)頭分別安裝在機床相對運動的兩個部件上,。用千分表檢查機床工作臺的主尺安裝面與導軌運動的方向平行度。千分表固定在床身上,，移動工作臺,，要求達到平行度為0.1mm/1000mm以內(nèi)。如果不能達到這個要求,，則需設計加工一件光柵尺基座,。
基座要求做到：(1)應加一根與光柵尺尺身長度相等的基座（hao基座長出光柵尺50mm左右）,。(2)該基座通過銑、磨工序加工,，保證其平面平行度0.1mm/1000mm以內(nèi)。另外,，還需加工一件與尺身基座等高的讀數(shù)頭基座,。讀數(shù)頭的基座與尺身的基座總共誤差不得大于±0.2mm,。安裝時，調(diào)整讀數(shù)頭位置,，達到讀數(shù)頭與光柵尺尺身的平行度為0.1mm左右，讀數(shù)頭與光柵尺尺身之間的間距為1~1.5mm左右,。
2,、光柵尺線位移傳感器主尺安裝
將光柵主尺用M4螺釘上在機床安裝的工作臺安裝面上,，但不要上緊，把千分表固定在床身上,，移動工作臺（主尺與工作臺同時移動）。用千分表測量主尺平面與機床導軌運動方向的平行度，調(diào)整主尺M4螺釘位置,，使主尺平行度滿足0.1mm/1000mm以內(nèi)時,，把M2螺釘*上緊,。
在安裝光柵主尺時，應注意如下三點：
(1) 在裝主尺時,，如安裝超過1.5M以上的光柵時，不能象橋梁式只安裝兩端頭,，尚需在整個主尺尺身中有支撐。(2)在有基座情況下安裝好后,，hao用一個卡子卡住尺身中點（或幾點）。(3)不能安裝卡子時,，hao用玻璃膠粘住光柵尺身，使基尺與主尺固定好,。
3、光柵尺線位移傳感器讀數(shù)頭的安裝
在安裝讀數(shù)頭時,，首先應保證讀數(shù)頭的基面達到安裝要求，然后再安裝讀數(shù)頭,，其安裝方法與主尺相似。后調(diào)整讀數(shù)頭,，使讀數(shù)頭與光柵主尺平行度保證在0.1mm之內(nèi),，其讀數(shù)頭與主尺的間隙控制在1~1.5mm以內(nèi)。
4,、光柵尺線位移傳感器限位裝置
光柵線位移傳感器全部安裝完以后，一定要在機床導軌上安裝限位裝置,，以免機床加工產(chǎn)品移動時讀數(shù)頭沖撞到主尺兩端，從而損壞光柵尺,。另外,，用戶在選購光柵線位移傳感器時,，應盡量選用超出機床加工尺寸100mm左右的光柵尺，以留有余量,。
5、光柵尺線位移傳感器檢查
光柵線位移傳感器安裝完畢后,，可接通數(shù)顯表,，移動工作臺，觀察數(shù)顯表計數(shù)是否正常,。
在機床上選取一個參考位置，來回移動工作點至該選取的位置,。數(shù)顯表讀數(shù)應相同（或回零）,。另外也可使用千分表（或百分表）,，使千分表與數(shù)顯表同時調(diào)至零（或記憶起始數(shù)據(jù)），往返多次后回到初始位置,，觀察數(shù)顯表與千分表的數(shù)據(jù)是否*,。
通過以上工作,，光柵尺線位移傳感器的安裝就完成了。但對于一般的機床加工環(huán)境來講,，鐵屑,、切削液及油污較多。因此,，傳感器應附帶加裝護罩,，護罩的設計是按照傳感器的外形截面放大留一定的空間尺寸確定，護罩通常采用橡皮密封,，使其具備一定的防水防油能力
