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參考價(jià)	面議

原價(jià)	￥1500
參考價(jià)	￥1000	￥900	￥800
訂貨量	1-2000臺(tái)	2000-4000臺(tái)	4000-6000臺(tái)

產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

heidenhain海德漢光柵尺LIF401精度0.01 µm
LIF 471，LIF 481 安裝簡(jiǎn)單的增量式直線光柵尺
? 測(cè)量步距1 µm至0.01 µm
? 用限位開(kāi)關(guān)和零位軌檢測(cè)位置
? 玻璃光柵尺,，背膠固定
? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成
? 高真空版（參見(jiàn)產(chǎn)品信息樣本）

詳細(xì)介紹

光電掃描原理

大多數(shù)海德漢公司的光柵尺或編碼器都用光電掃描原理,。光電掃描測(cè)量基準(zhǔn)是非接觸式掃描，因此無(wú)磨損,。這種光電掃描方法能檢測(cè)到非常細(xì)的線條,，通常不超過(guò)幾微米寬，而且能生成信號(hào)周期很小的輸出信號(hào),。測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小,，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴(yán)重,。

海德漢直線光柵尺采用兩種掃描方法：

• 成像掃描原理用于10 µm至200 µm的柵距。

• 干涉掃描原理用于柵距4 µm甚至更小柵距的光柵,。

成像掃描原理簡(jiǎn)單地說(shuō)成像掃描原理

是用透射光生成信號(hào)：兩個(gè)具有相同或相近柵距的光柵尺與掃描掩碼彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng),。掃描掩膜的基體是透明的，而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵可以是透明的也可以是反射的,。

當(dāng)平行光穿過(guò)一個(gè)光柵時(shí),，在一定距離處形成明/暗區(qū)。具有相同或相近柵距的掃描光柵就在這個(gè)位置處,。當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn) 動(dòng)時(shí),，穿過(guò)光柵尺的光得到調(diào)制：如果狹縫對(duì)齊，光線通過(guò),。如果一個(gè)光柵的刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對(duì)齊,，光線無(wú)法通過(guò)。光電池將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào),。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào),。柵距越小，掃描掩膜和光柵尺帶間的間距越小,，公差越嚴(yán),。如果對(duì)10 µm或更大柵距的編碼器進(jìn)行成像掃描，允許的編碼器安裝公差相對(duì)較大,。

LIC和LIDA系列直線光柵尺為成像掃描,。

干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測(cè)量信號(hào)。

階梯狀光柵用作測(cè)量基準(zhǔn)：高度0.2 µm的反光線刻在平反光面中,。光柵尺帶的前方是掃描掩膜,，其柵距與光柵尺帶的柵距相同，是透射相位光柵,。

光波照射到掃描掩膜時(shí),，光波被衍射為三束光強(qiáng)近似的光：-1、0和+1,。光柵尺帶衍射的光波中,，反射的衍射光中光強(qiáng)qiang 的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇,，又一次被衍射和干涉,。它也形成三束光，并以不同的角度離開(kāi)掃描掩膜,。光電池將這些交變的光強(qiáng)信號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào),。

掃描掩膜與光柵尺帶的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使*級(jí) 的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過(guò)一個(gè)柵距時(shí)，前一級(jí)的+1衍射光在正方向上移過(guò) 一個(gè)光波波長(zhǎng),，-1衍射光在負(fù)方向上移過(guò) 一個(gè)光波波長(zhǎng),。由于這兩個(gè)光波在離開(kāi)掃描光柵時(shí)將發(fā)生干涉,，光波將彼此相對(duì)移動(dòng)兩個(gè)光波波長(zhǎng)。也就是說(shuō),，相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期,。

例如，干涉光柵尺的柵距一般為8 µm,、 4 µm甚至更小,。其掃描信號(hào)基本沒(méi)有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分,。因此,，這些光柵尺特別適用于小測(cè)量步距和高精度應(yīng) 用。盡管如此,，其相對(duì)寬松的安裝公差使它可用于許多應(yīng)用,。

LIP、LIF和PP直線光柵尺采用干涉掃描法,。

heidenhain海德漢光柵尺LIF401精度0.01 µm