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產(chǎn)品型號(hào)LIP 372/LIP 382

品牌HEIDENHAIN/德國(guó)海德漢

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地上海市

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更新時(shí)間：2024-11-20 17:18:44瀏覽次數(shù)：1249次

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產(chǎn)品分類品牌分類

德國(guó) 海德漢HEIDENHAIN: 網(wǎng)關(guān) 電子電路數(shù)顯裝置機(jī)床測(cè)頭電子手輪伺服器電機(jī) 系統(tǒng) 伺服驅(qū)動(dòng)編碼器長(zhǎng)度計(jì) 旋轉(zhuǎn)編碼器角度編碼器模塊角度編碼器直線光柵尺

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm
LIP 372,，LIP 382 超高精度增量式直線光柵尺
? 測(cè)量步距達(dá)0.001 µm（1 nm）
? 測(cè)量基準(zhǔn)用螺栓固定

詳情介紹

直線光柵尺測(cè)量直線軸位置,，測(cè)量期間沒(méi) 有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件,。因此,，它能消除以下潛在誤差源： • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差

• 反向誤差 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差因此,，直線光柵尺是高精度定位和高速加工機(jī)床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段,。敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于超高測(cè)量精度的機(jī)器和系統(tǒng),。

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

• PCB電路板組裝機(jī)

• 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)器件的金剛石刀具,，加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床

• 高精度機(jī)床

• 測(cè)量機(jī)和比較儀,、測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備

• 直驅(qū)電機(jī) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸,。敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝面上,。因此，安裝面的平面度是高精度直線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件,。

測(cè)量原理測(cè)量基準(zhǔn)

海德漢公司的光學(xué)掃描光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵,。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長(zhǎng) 度測(cè)量用的光柵尺帶的基體為鋼帶,。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵,。

• AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 µm • METALLUR：抗污染的鍍金層金屬線,，典型柵距20 µm

• DIADUR：玻璃基體的超硬鉻線（典型柵距20 µm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 µm）

• SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條,；*抗污能力；典型柵距不超過(guò)8 µm

• OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條,，超高反光性能,，典型柵距不超過(guò) 2 µm 這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外，而且刻制的光柵線條邊緣清晰,、均勻,。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造,。

heidenhain海德漢光柵尺LIP 382精度0.001µm