詳細介紹
易威奇生產(chǎn)的化工泵種類齊全,從1956年創(chuàng)立開始,,不斷研制推出多系列寬用途的新產(chǎn)品,,至今已有500多個標準型號,從結(jié)構(gòu)輕巧精密的OEM(設(shè)備配套)產(chǎn)品,,到zui高級別的「氟材質(zhì)磁驅(qū)離心泵」,、「定量添液泵」和「水質(zhì)控制器」,易威奇化工泵廣泛應(yīng)用于化工,、石化,、環(huán)保,、電鍍,、印刷電路板、造紙,、及半導體等行業(yè),。
日本易威奇IWAKI全氟材質(zhì)高精度分辨率泵CFD 系列:
全氟材質(zhì)、高精度,、分辨率高達1.0mL/shot,、
精細流量調(diào)節(jié)的化學液補充系統(tǒng)
高分辨率
小流量達1mL/shot,為晶圓清洗過程中所需的化學凝結(jié)控制,,提供更高的準確性,。CFD系列能提供準確流量,防止過量添加或液體浪費,。此外,,防虹吸設(shè)計防止意外吸入。
耐腐蝕過流端
氟材質(zhì)口過流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導體加工所用的強酸,、強堿和雙氧水,。針對化學腐蝕,PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護,。
寬廣的吐出率調(diào)節(jié)
打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長度 (出廠默認設(shè)定是1.0ml/shot),。
配備泄漏傳感器
每臺泵都配有泄漏傳感器,可實時檢測任何泄漏情況,。
日本易威奇IWAKI全氟材質(zhì)高精度分辨率泵規(guī)格:
大吐出量 | 1 mL/shot |
大吐出壓力 | 0.05 MPa |
大沖程率 | 30 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA, PCTFE |
液體輸送溫度范圍 | 20 ~ 60 °C |
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