超聲波液體濃度計(jì) 單成分用

半導(dǎo)體制造程序選件

FUD-1 Model-12/1006

測(cè)量原理

超聲波在液體中非常易于傳播,。

超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。

「濃度變化」→ 「密度變化」→「音速變化」

本產(chǎn)品利用超聲波的特性,，高精度的測(cè)量溶液的濃度,。

測(cè)量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過(guò)CPU演算處理→濃度顯示

構(gòu)成図

FUD-1　Model-12

用途

CMP泥漿濃度或者CMP泥漿濃度中的H₂O₂的濃度測(cè)量

洗凈液濃度測(cè)量（（HF,、NH₃,、H₂O₂,、BHF,、KOH、IPA等）

稀釋裝置濃度測(cè)量（HF,、NH₃,、H₂O₂、BHF,、KOH,、H₂SO₄,、HCI、HNO₃等）

蝕刻過(guò)程中的濃度測(cè)量（HF,、H₂SO₄ 等）

特長(zhǎng)

可根據(jù)檢量線(xiàn)的交換測(cè)量各種半導(dǎo)體藥液的濃度。

發(fā)信器小型,、輕量,，可直接在線(xiàn)裝置。

免保養(yǎng)設(shè)計(jì),。

接液部分全部采用（PFA)材料,。

小型輸出設(shè)計(jì)，對(duì)藥液沒(méi)有影響,。

主要參數(shù)