FUJI-US 富士工業(yè)多成分濃度計(jì) FUD-1 MODEL-53 是一款性能出色的濃度測(cè)量?jī)x器,,以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
測(cè)量原理4:
通過(guò)結(jié)合超聲波傳播速度和電導(dǎo)率來(lái)測(cè)量液體中 “3 種成分中 2 種成分的濃度",。超聲波在溶液中傳播的速度會(huì)受溶液的濃度和溫度影響,,該濃度計(jì)利用這一特性,,再結(jié)合電導(dǎo)率測(cè)量,,經(jīng)過(guò) CPU 演算處理得出濃度結(jié)果,。
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì):
標(biāo)配模擬 DC4~20mA(2 系統(tǒng))及數(shù)字 RS232C 輸出信號(hào),方便與其他設(shè)備進(jìn)行連接和數(shù)據(jù)傳輸,。
標(biāo)配測(cè)量錯(cuò)誤輸出和報(bào)警輸出,,當(dāng)測(cè)量結(jié)果超出設(shè)定的上下限或出現(xiàn)異常時(shí),可及時(shí)發(fā)出警報(bào),。
具備自診斷功能和錯(cuò)誤消息顯示,,方便用戶快速排查和解決問(wèn)題。
擁有輸出范圍設(shè)定,、濃度顯示移動(dòng)平均,、濃度顯示偏移及增益設(shè)定、故障安全,、異常值消除,、溫度時(shí)間常數(shù)校正等多種功能。
高精度測(cè)量:能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的連續(xù)測(cè)量,,測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確可靠,,可滿足多種工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)濃度精確控制的要求123。
免維護(hù):儀器無(wú)需定期調(diào)整和校準(zhǔn),,沒(méi)有易磨損或老化的部件,,減少了維護(hù)成本和工作量123。
易于安裝:小型,、輕質(zhì)的單元式發(fā)射器可直接安裝在生產(chǎn)線上,,且安裝時(shí)不需要進(jìn)行復(fù)雜的調(diào)整,操作簡(jiǎn)便126,。
實(shí)時(shí)輸出與反饋:可實(shí)時(shí)輸出測(cè)量結(jié)果,,便于操作人員及時(shí)了解生產(chǎn)過(guò)程中的濃度變化,輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的反饋控制126,。
多種功能配置125:
應(yīng)用領(lǐng)域125:
在半導(dǎo)體制造工藝中,,可用于 CMP 工序中的 CMP 漿料及氧化劑濃度管理,、清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理(如 HF+HNO?、HF+H?SiF?等),、蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度管理(如 TMAH + 抗蝕劑,、TMAH+Si 等)。
適用于金屬酸洗過(guò)程中的酸液濃度控制,、化學(xué)工業(yè)中兩種混合化學(xué)品的濃度控制等其他工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的多成分濃度監(jiān)測(cè)與管理,。
規(guī)格參數(shù)156:
電源:AC100V 至 240V 50/60Hz,30VA(也可使用 DC24V),。
環(huán)境溫度:轉(zhuǎn)換器為 0~50°C,,RH85% 以下(無(wú)冷凝);測(cè)量液體溫度一般為 0~100°C,,特殊規(guī)格為 - 10~160°C(100°C 寬度),。
顯示:采用 LCD 顯示屏,可顯示濃度 1,、濃度 2,、溫度、聲速,、電導(dǎo)率等各種參數(shù),。
輸出信號(hào):模擬 DC4~20mA 有 2 個(gè)系統(tǒng)(可根據(jù)濃度值自由設(shè)定),數(shù)字 RS232C 可輸出濃度 1,、濃度 2,、聲速、溫度,、電導(dǎo)率,、錯(cuò)誤代碼等信息。
通道:高達(dá) 7 通道(校準(zhǔn)曲線),。
發(fā)射器:有 SA-20S29 + 電導(dǎo)率計(jì),、SA-20S27 + 電導(dǎo)率計(jì)等示例,振動(dòng)元件為 PZT(2MHz),,測(cè)量元件為熱敏電阻,,接液部件材質(zhì)采用 PFA 等,重量為 2.5kg,,電纜專用電纜 6m,,環(huán)境溫度 5~45°C,耐壓 0.3MPa,,流量 5 升 / 分鐘(推薦),。