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8713 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制,。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)速度的響應(yīng)。一個(gè)直動(dòng)式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,，確保了良好的響應(yīng)靈敏度,。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性,。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級設(shè)備的通信采用數(shù)字形式,，這樣一來,，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,，例如燃燒器控制,、熱處理、材料涂層,、生物反應(yīng)堆,、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺。