主動隔振臺是由電氣進行控制,，通過反向力進行消除振動,，通過傳感器進行檢測振動的頻率，持續(xù)產(chǎn)生振動的隔離狀態(tài),，有效進行消音作用,。而被動隔振臺是由機械的裝置進行控制，利用彈簧的彈性體進行有效減少振動,，這一系列的流程是由氣動系統(tǒng)實現(xiàn)的,。
工作原理：
安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設(shè)備造成不利影響,，有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造適合該設(shè)備的條件,。使用電氣控制,，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動,，并基于該信息,，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，并繼續(xù)產(chǎn)生的振動隔離狀態(tài),。它擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振,。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)有彈簧零件，主要目的是利用可變形的作用進行吸收能量,，從而減少設(shè)備上的振動,，雖然效果很好，但共振放大之后就會有些嚴重,；除此之外,，還有橡膠材質(zhì)，跟彈簧的一樣,，主要是通過變形吸收熱量,，不同的是，橡膠能吸收各個方向的,；就是一個氣動平臺的系統(tǒng),，通過壓縮空氣活塞來減少地面的振動。
主動隔振臺采用的隔振技術(shù),，適用于任何研究情況下,，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向,。平臺利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動,，通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等,，相位相反的壓力信號來消除傳入振動,。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設(shè)備如電鏡,，光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動,，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。
應(yīng)用范圍：
超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
