日本愛(ài)發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

愛(ài)發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制

程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,，高真度運(yùn)行,，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動(dòng)態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能

提供更強(qiáng)的安全性,。

真空泵不良現(xiàn)象及原因分析

1,、不良現(xiàn)象：真空泵運(yùn)行過(guò)載報(bào)警。

2,、原因分析：

經(jīng)對(duì)真空泵進(jìn)行拆解,， 發(fā)現(xiàn)以下幾個(gè)問(wèn)題點(diǎn)：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致,。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞,，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤(rùn)滑油因高溫氧化積碳,。

（3）軸承磨損：

因軸承潤(rùn)滑脂失效,，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

(4)軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損,。

(5)軸套磨損:

因高溫運(yùn)行,，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損,。

從事真空泵行業(yè),，主要銷售進(jìn)口真空泵及配件，單級(jí)旋片真空泵,，無(wú)油真空泵,，

干式螺桿泵，羅茨真空泵,，真空泵油,，真空泵過(guò)濾器，真空泵葉片/碳片,，真空泵維修包及保養(yǎng)包,，提

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養(yǎng)、現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)等售后服務(wù)項(xiàng)目,。擁有專業(yè)的進(jìn)口真空泵維修車間,，配件充足/維修速度快/提供備用機(jī)/

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