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日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修:愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制程。此泵具有較高的耐腐蝕性能,,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,,所以泵能提供更強(qiáng)的安全性,。
日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修
愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵,用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制
程,。此泵具有較高的耐腐蝕性能,,高真度運(yùn)行,由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力,,所以泵能
提供更強(qiáng)的安全性,。
真空泵不良現(xiàn)象及原因分析
1、不良現(xiàn)象:真空泵運(yùn)行過載報(bào)警,。
2,、原因分析:
經(jīng)對真空泵進(jìn)行拆解, 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點(diǎn):
不良現(xiàn)象 原因分析
(1)轉(zhuǎn)子軸套部磨損:
因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限,,軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致,。
(2)泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳:
因泵軸承損壞,轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫,,齒輪潤滑油因高溫氧化積碳,。
(3)軸承磨損:
因軸承潤滑脂失效,軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨,。
(4)軸封磨損:
因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損,。
(5)軸套磨損:
因高溫運(yùn)行,,軸封密封部硬化,與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損,。
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