近期，我司新推出了FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng)
 

　　在半導體行業(yè)芯片的生產(chǎn)過程中,，環(huán)境的潔凈程度直接關(guān)乎產(chǎn)品的良品率,。空氣中的分子污染物(AMC)是半導體生產(chǎn)工藝中最重要的化學污染之一,，其中酸性物質(zhì)(MA),、堿性物質(zhì)(MB)是AMC污染物的重要組成部分，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量,。
 

　　潔凈室AMC中酸堿性污染物的監(jiān)測主要是通過離子色譜分析儀,，結(jié)合人工采樣、超純水吸收法等前處理過程,。此監(jiān)測分析過程繁瑣低效,，并可能引入人工污染的風險，導致監(jiān)測數(shù)據(jù)結(jié)果偏差,。
 

　　FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng) 應(yīng)用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物(AMC)中酸性物質(zhì)(MA),、堿性物質(zhì)(MB)污染物的在線監(jiān)測系統(tǒng)。系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法,，實現(xiàn)了多點采樣,、氣體自動吸收富集、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能,，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大,、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題,。
 

性能特點
 

　　自控程度高
 

　　FAAS 8000ICS 實現(xiàn)了自動遠距離采樣,、自動富集吸收,、 自動質(zhì)量控制、自動分析,、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化,。避免人工誤差引入，數(shù)據(jù)準確可靠,。
 

檢測能力強
 

　　大體積進樣濃縮,，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達亞ppt級,，縮短系統(tǒng)運行周期,。
 

監(jiān)測范圍廣
 

　　單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集；
 

　　系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣,，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測,。
 

　　系統(tǒng)本底低
 

　　系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的低本底控制要求,。
 

　　吸收效率高
 

　　在線雙吸收模塊設(shè)計,，提高樣品吸收效率，縮短系統(tǒng)運行周期,。
 

　　應(yīng)用領(lǐng)域
 

　　FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測,，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。
 

應(yīng)用案例
 

　　采用FAAS 8000ICS在線監(jiān)測潔凈室中的NH4+,、SO42-,、NO3-、NO2-,、Cl-,、F- 等六種離子濃度10天內(nèi)變化情況。實驗結(jié)果與離線手動檢測結(jié)果一致,，符合半導體潔凈室檢測要求,。