在目前半導(dǎo)體工廠的制造過程中,，要用到約50種不同種類的特殊氣體,，其中不乏易燃易爆和有毒有害氣體，如何確保生產(chǎn)過程中的氣體使用安全,，一直是企業(yè)廠務(wù)系統(tǒng)關(guān)注的焦點,。

特種氣體分類

半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的特種氣體主要可分為四個大類。

易燃?xì)怏w

易燃?xì)怏w,，是指在標(biāo)準(zhǔn)壓力下,，在與空氣的混合物中按體積占13%或更少時可點燃的氣體或與空氣混合，不論燃燒下限值如何,，可燃范圍至少為12個百分點的氣體,。

如甲烷在空氣中的爆炸極限約為5%至15%。屬于易燃?xì)怏w有氫氣,、甲烷,、乙烯、乙炔等,。

毒性氣體

半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的很多氣體是對人體有害有毒的,。其中以砷化氫、乙硼烷,、三氫化磷等氣體的毒性最大,。

這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在儲存,、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心,。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。

全氟丁二烯,、八氟環(huán)戊烯,、三氟化氮、氟甲烷,、氯化氫,、氟化氫、六氟化鎢等都屬于毒性氣體,。

惰性氣體

惰性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害,，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上氣體嚴(yán)格,。

但惰性氣體具有窒息特性,，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故，屬于這類的氣體有四氟化碳,、六氟化硫等,。

氧化性氣體

這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性,，如毒性或腐蝕性等,。屬于這類的氣體有三氟化氯、氯氣等,。

半導(dǎo)體特氣監(jiān)測解決方案

針對半導(dǎo)體工廠的特種氣體泄漏監(jiān)測需求,，譜育科技推出了GDM系列特氣檢測儀產(chǎn)品。

GDM-2100 Series特氣檢測儀

GDM-2100 Series特氣檢測儀是一款固定泵吸式氣體檢測儀,，可從本地或遠(yuǎn)端將樣氣抽取到檢測儀內(nèi)部的傳感器流路中,，測量出相應(yīng)的氣體濃度，采樣距離可達30米,。

?參數(shù)配置：適用于電化學(xué),、NDIR,、催化燃燒測量

?測量氣體：易燃?xì)怏w、有毒有害氣體,、惰性氣體,、氧化性氣體

?傳輸方式：4-20mA、以太網(wǎng),、三路繼電器

?供電方式：48V PoE或24V DC

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

GDM-3100 Series特氣檢測儀

GDM-3100Series是一款便攜泵吸式特氣檢測儀,，檢測儀標(biāo)配大容量鋰電池組，可在無外接電源的情況下連續(xù)進行采樣和檢測,，儀器內(nèi)置報警蜂鳴器,，在檢測濃度超過報警閾值時會發(fā)出相應(yīng)的報警提示音，可在半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)等多種應(yīng)用場景下使用,。

?參數(shù)配置：適用于電化學(xué),、NDIR、催化燃燒測量

?測量氣體：易燃?xì)怏w,、有毒氣體,、惰性氣體、氧化性氣體

?傳輸方式：以太網(wǎng)

?供電方式：自帶可充電鋰電池

?電池參數(shù)：124Wh,，三元鋰電池

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體,、微電子、光伏,、光纖,、TFT-LCD、LED,、生物醫(yī)藥等,。

應(yīng)用業(yè)績

華潤微電子、卓勝微,、馳拓科技,、中電科聲光電、京東方,、乾照光電,、大陽日酸、國家光電實驗室等,。