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全新上照式設(shè)計,，搭載全自動移動平臺和影像識別功能,，既能檢測納米級厚度,、微小樣品和凹槽異形件的膜厚,，也可滿足微區(qū)RoHS檢測及全元素成分分析,。
1）搭載微聚焦加強型X射線發(fā)生器和*光路轉(zhuǎn)換聚焦系統(tǒng)，最小測量面積達0.03mm2
2）擁有無損變焦檢測技術(shù),，手動變焦功能,，可對各種異形凹槽件進行無損檢測，凹槽深度范圍0-90mm
3）核心EFP算法,，可對多層多元素,，包括同種元素在不同層都可快、準,、穩(wěn)的做出數(shù)據(jù)分析（釹鐵硼磁鐵上Ni/Cu/Ni/FeNdB,，精準檢測第一層Ni和第三層Ni的厚度）
4）配備全自動可編程移動平臺，可實現(xiàn)無人值守,，對成百上千個樣品進行全自動檢測
5）涂鍍層分析范圍：鋰Li（3）- 鈾U（92）
6）成分分析范圍：鋁Al（13）- 鈾U（92）
7）RoHS,、鹵素有害元素檢測
8）人性化封閉軟件,，自動判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作
9）標配四準直器自動切換
10）配有微光聚集技術(shù),，最近測距光斑擴散度小于10%
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