目錄:深圳市科晶智達科技有限公司>>鈣鈦礦太陽能電池制備>> MSK-PSE-EC1515六源真空蒸鍍儀
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,綜合 |
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| 功能特點 |
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真空腔室：采用304不銹鋼腔室,，設(shè)計有前門雙導軌和后門手動鉸鏈結(jié)構(gòu),，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。腔室內(nèi)外表面經(jīng)過拋光處理,，并預留有照明,、膜厚儀等設(shè)備接口,；
真空系統(tǒng)：配備中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機械泵，具有高效的抽氣能力,，抽氣時間短且極限真空度高（優(yōu)于2.0×10-5Pa）,，關(guān)機12小時后仍可保持良好真空性能；
基片臺：抽屜式結(jié)構(gòu),，可承載最大L150mm*W150mm樣品,，配氣動基片大擋板，支持旋轉(zhuǎn)和水冷功能,，與蒸發(fā)源距離可調(diào),，手動升降調(diào)節(jié)最大50mm可調(diào)；
蒸發(fā)源及電源：系統(tǒng)配置3組舟式蒸發(fā)源,，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結(jié)構(gòu),，最高溫度可達1500℃；并配備2.4KW蒸發(fā)電源,，支持恒流和恒壓兩種驅(qū)動模式，可手動/軟件控制也可通過膜厚儀PID控制調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率,；
膜厚控制系統(tǒng)：采用進口INFICON公司的SQC-310膜厚儀,，精度高達0.01埃，能自動控制金屬蒸發(fā)電源輸出,。同時,，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動控制系統(tǒng)，可以輸入速率和終厚,，通過PID調(diào)節(jié)實現(xiàn)對蒸發(fā)電源輸出的控制,；
多項安全保護功能疊加，安全系數(shù)大大增加,；
機械泵前加裝分子篩,，抽氣口加裝過濾網(wǎng)、百葉窗等防護件,，氣路設(shè)計避免揚塵,；
所有樣品臺、源擋板,，樣品臺旋轉(zhuǎn)均采用磁流體密封,，保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定性。
六源真空蒸鍍儀配備
| 技術(shù)參數(shù) | |
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| 電源 | 三相五線制AC380V±10%,，頻率：50Hz,，總功率約8KW |
| 氣源 | 壓縮空氣：干燥、干凈,、無水,、無油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA） 氮氣：干燥氮氣,，用于設(shè)備腔室破真空,，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPA） |
| 水源 | 流量15-20升/分鐘,，15～25℃,， 進水和出水壓差3～4公斤，進水壓力3～5公斤,， 設(shè)備的進水和出水口外徑1英寸,， 建議在設(shè)備的進水口前安裝一個球閥，方便調(diào)節(jié)水壓和水流量 |
| 真空極限 | 真空極限優(yōu)于2.0×10-5Pa 漏率：優(yōu)于5×10－8Pa*L/S（國家標準） 關(guān)機12小時后,，真空度≤5Pa,；（手套箱干燥氮氣環(huán)境） |
| 抽速 | 抽氣時間：大氣壓～5*10-4Pa，小于25min,；（手套箱干燥氮氣環(huán)境） |
| 真空室 | 304L不銹鋼方形真空室,，內(nèi)部電拋光，立式前后開門結(jié)構(gòu) 前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個（配防污玻璃）,，后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個（配防污玻璃） 內(nèi)襯材質(zhì)：不銹鋼,，多片結(jié)構(gòu)方便拆卸安裝 左側(cè)：連接主閥門和分子泵，真空測量接口 頂部：安裝旋轉(zhuǎn)水冷樣品臺,、樣品臺大擋板,、膜厚儀接口各1個 底板：安裝金屬蒸發(fā)電極、有機束源蒸發(fā)源爐各3組（預留一組膜厚儀探頭安裝口） 真空室下方為一體式電控部分,，配有萬向輪和地腳,，方便移動 |
| 抽真空系統(tǒng) | 分子泵+機械泵組合式真空系統(tǒng)，氣動閥門 分子泵：中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑,，抽速：1300L/S 機械泵：BSV30機械泵,，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動主閥DN200 1套 真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封,，不常拆靜密封采用無氧銅密封 |
| 真空計 | 復合真空計（一低一高2個真空計） 自動控制切換低真空,、高真空測量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數(shù)輸入PLC,，用于工藝控制 |
| 蒸發(fā)源 | 配備3組舟式蒸發(fā)源,。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式 配備3組有機束源蒸發(fā)源，配套3組坩堝,，加熱溫度：0～700℃,，角度可調(diào)范圍：15° 配備3臺有機蒸發(fā)電源，配備實時顯示坩堝溫度日本導電溫控儀,，可程序段控溫 |
| 工件架 | 配有自轉(zhuǎn)電動工件盤,，一次性放置最大150*150mm樣品,，配有單轉(zhuǎn)軸空心磁流體密封，樣品旋轉(zhuǎn) 高扭矩電機和控制器,，轉(zhuǎn)速0～30RPM可調(diào) 帶冷卻功能 主控系統(tǒng)控制開關(guān),，轉(zhuǎn)速檢測并顯示 氣動大擋板 |
| 系統(tǒng)自動控制 | 西門子PLC+觸摸屏手自動控制，可輸入速率及終厚,，PID調(diào)節(jié)自動控制蒸發(fā)電源輸出 控制內(nèi)容：機械泵,，分子泵，氣動,、電磁閥門,、真空計等等；自動抽真空,、自動鍍膜,、自動排氣等 完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖）,，另外系統(tǒng)配備水流檢測報警裝置 |
| 安全保護 | 缺水欠壓檢測與保護,、相序檢測與保護、溫度檢測與保護,、真空系統(tǒng)檢測與保護 對泵,、電極等缺水、過流過壓,、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施 |
| 真空室尺寸 | 約L400*W400*H450mm |
| 外形尺寸 | 約L1000*W780*H2000mm |
| 重量 | 約360kg |
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