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wayeal氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)出現(xiàn)的故障維修

　　1,、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮,，如果亮，說(shuō)明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式,。再按一下粗檢開(kāi)關(guān)切換到自動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài),。

　　2、靈敏度低,。檢查三極規(guī)所測(cè)壓力,，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時(shí)再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染,，清洗離子源,。

　　3、氦本底太高,。檢查機(jī)械泵油是否失效(泵油長(zhǎng)期使用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣,，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏,，真空管路是否污染,，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染,。另外還要注意環(huán)境的污染問(wèn)題,，如果有多臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大,，通風(fēng)不好時(shí),，致使氦氣擴(kuò)散慢，也會(huì)導(dǎo)致氦污染,。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處,，安裝一個(gè)幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接,。這樣,，就大大減少了環(huán)境的氦污染。

　　4,、工裝設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致檢漏通不過(guò),。初檢時(shí)工作正常，工作幾次后,，抽速大大減慢,，檢漏不過(guò);加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常。這是因?yàn)楣ぱb設(shè)計(jì)不合理所致,，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理,，內(nèi)表面太粗糙，導(dǎo)致過(guò)多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計(jì)人員對(duì)專業(yè)真空設(shè)計(jì)不熟悉),。

　　5,、操作不合理導(dǎo)致故障。如工作中,，有一個(gè)大漏的工件,，由于操作人員判斷錯(cuò)誤，不認(rèn)為工件漏,，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀,，多次對(duì)這一工件檢漏。這樣就會(huì)發(fā)現(xiàn),，所有工件都不過(guò),。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后，有大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室,，造成質(zhì)譜室污染,。解決的辦法是，清理質(zhì)譜室,，反復(fù)吸氣排氣,。