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磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

1.無法起輝

（1）直流電源故障，檢查直流電源,；

（2）氬氣進氣量小,，檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量；

（3）真空室清潔度不夠,，清潔真空室,；

（4）靶材絕緣度不夠，檢查靶是否與地短路,，在通水的情況下,，對地電阻應該在50kΩ以上,；

（5）磁場強度不夠，檢查永磁體是否消磁,；

（6）真空度太差,，檢查真空系統(tǒng)。

2.輝光不穩(wěn)

（1）電壓電流不穩(wěn),，檢查電源,；

（2）真空室壓力不穩(wěn)，檢查氬氣進氣量及真空系統(tǒng),；

（3）電纜故障,，檢查電纜是否連接良好。

3.成膜質量差

（1）基片表面清潔度差,，清潔基片表面,；

（2）真空室清潔度差，清潔真空室,；

（3）基片溫度過大或過小,，檢查溫控系統(tǒng)，校準熱電偶,；

（4）真空室壓力過大,，檢查真空系統(tǒng)；

（5）濺射功率設置不當,，檢查直流電源,，設置何事的設定功率。

4.濺射速率低

（1）氬氣進氣量過大或過小,，觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小,，據(jù)此調整氬氣進氣量；檢修流量計,；

（2）靶材過熱,，檢查冷卻水流量；

（3）檢查永磁體是否消磁,。