維修德國 SINGULUS 濺鍍電源,、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY ,、美國 AE 濺鍍電源,、RF 射頻電源、DC 直流電源,、AC 交流電源,。更專業(yè)的技術(shù),，更迅速的響應(yīng)高速增長的等離子體薄膜制造工藝之***電源的維修。
為了快捷,、正確的解決射頻電源故障,，幫助到親解決煩惱。麻煩親幫我了解清楚射頻電源的具體故障,，發(fā)故障報(bào)警代碼,，有故障代碼的圖片更好。比如：不能啟動(dòng),、上電無顯示,，還是運(yùn)行一段時(shí)間才報(bào)，這個(gè)也是關(guān)鍵,。
施耐德RF射頻電源維修檢測：
1,、切斷電源，讓充電指示燈熄滅,，然后檢查頂部和底部母線之間的直接短路,。
2、如果您有直接短路,，請斷開模塊,，直到短路消失。
3,、如果沒有直接短路,，請按照以下步驟操作。
4,、確保測量電源模塊中的腳對腳和腳對地電壓,。
5、向電源的L1,，L2和L3底部提供三相輸入（400-480V AC腳對地和200-260V AC腳對地）,。
6、向CX1A連接器提供200伏輸入,。
7,、跳出進(jìn)入PSM的CX3 / MCC電纜上三個(gè)引腳的頂部和底部引腳。
8,、跳出PSM上CX4 / ESP E-Stop連接器的三個(gè)插針的頂部兩個(gè)插針,。
9、安裝并擰緊直流母線上的所有螺釘,。
工業(yè)電源維修：AE電源維修,，美國MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修，AE電鍍電源維修，AE射頻電源維修,，電鍍高頻電源維修,，刻蝕射頻電源維修，RE射頻電源維修,，PECVD射頻電源維修,，大功率工業(yè)電源維修，UPS電源維修等各行業(yè)工業(yè)用電源維修,，射頻電源設(shè)備維修：刻蝕,，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)
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