真空泵對真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時(shí)間以及整臺(tái)設(shè)備的處理效果都有重要影響,，所以選擇合適的真空泵是對一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)的品質(zhì)至關(guān)重要,。真空等離子清洗機(jī)上常用的真空泵分為兩種，分別是油式真空泵和干式真空泵,。今天我們就來介紹一下等離子清洗機(jī)上所用到的真空泵種類和各自特點(diǎn),，以及選擇真空泵時(shí)的注意點(diǎn)。
1.油式真空泵
油式真空泵是通過油來密封,，潤滑,，降溫的真空泵的統(tǒng)稱,。在真空等離子清洗機(jī)上的一種油式真空泵就是旋片式真空泵,。
①旋片式真空泵
旋片式真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵,，其主要的部件有泵體,、轉(zhuǎn)子、旋片,、端蓋,、彈簧等。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種,，等離子清洗機(jī)常用的是雙級(jí)旋片式真空泵,，所謂雙級(jí)旋片式真空泵就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來。
旋片式真空泵的泵腔內(nèi)偏心地裝有一個(gè)轉(zhuǎn)子,，而轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切,，同時(shí)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)帶彈簧的旋片。轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),，靠離心力和彈簧的彈力使旋片頂端與泵腔體內(nèi)壁保持接觸,，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片式真空泵利用兩個(gè)旋片將泵腔體分為3個(gè)部分,，因?yàn)檗D(zhuǎn)子是偏心安裝的,，所以被分成的3個(gè)部分的空間會(huì)隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而變化，利用壓強(qiáng)差來達(dá)到抽氣的目的,。
旋片式真空泵在真空等離子清洗機(jī)上大多數(shù)用在小型腔體（80L以下）或者作為真空泵組的前級(jí)泵,。
旋片式真空泵具有以下這些優(yōu)點(diǎn)：
第一,，旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時(shí)，也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物,；
第二,，結(jié)構(gòu)相對簡單，維護(hù)保養(yǎng)起來方便,；
第三,，體積小、重量較輕,，便于安裝移動(dòng),；
第四，振動(dòng)微小,，噪音低,；
第五，價(jià)錢相對低一些等,。
2.干式真空泵
干式真空泵是無油干式機(jī)械真空泵的簡稱,。干式真空泵是不用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)工作介質(zhì)的一種真空泵,。這樣使得干式真空泵在潔凈度方面更好,，防止了油污染，所以干式真空泵大多用在對潔凈度要求比較高的真空等離子清洗機(jī)上,，比如說半導(dǎo)體領(lǐng)域,、生物醫(yī)療領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等。在真空等離子清洗機(jī)上常用的一種干式真空泵就是干式螺桿真空泵,。
?、俑墒铰輻U真空泵
干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在真空泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn),，從而產(chǎn)生作用力來實(shí)現(xiàn)吸氣和排氣功能的真空泵,。因?yàn)楦墒铰輻U真空泵在工作時(shí)，相互之間無磨擦,，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),，噪音低，所以在工作腔無需潤滑油,。干式螺桿真空泵是一款性能優(yōu)秀的干式真空泵,，具有許多比其他真空泵好的地方：
第一，干式螺桿真空泵的極限真空度很高,，最高極限真空可達(dá)到1-2Pa,；
第二，干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,，噪音低,，故障率低,，維護(hù)簡單；
第三,，干式螺桿真空泵的一種工作腔和螺桿轉(zhuǎn)子表面均有防腐涂層,，可適應(yīng)惡劣工況。
