壓力傳感器

傳感器是一種利用電容作為敏感元件,，將被測壓力轉(zhuǎn)換成電容值改變的傳感器,。這種傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號,。電容式傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式傳感器和差動(dòng)電容式傳感器,。由于硅是現(xiàn)今集成電路的主要,，以硅制作而成的壓阻性元件的應(yīng)用就變得非常有意義。的電阻變化不單是來自與應(yīng)力有關(guān)的幾何形變,，而且也來自材料本身與應(yīng)力相關(guān)的電阻,，這使得其程度因子大于金屬數(shù)百倍之多。隨著自動(dòng)化技術(shù)的進(jìn)步,，在工業(yè)設(shè)備中,，除了液柱式壓力計(jì)、彈性式壓力表外,，目前更多的是采用可將壓力轉(zhuǎn)換成電信號的壓力變送器,。原因是受到外力作用后的電荷，當(dāng)回路有無限大的輸入抗阻的時(shí)候,，才可以得以保存下來,。為減小溫度變化對芯體電阻值的影響，提高測量精度,，傳感器都采用溫度補(bǔ)償措施使其零點(diǎn)漂移,、靈敏度、線性度,、穩(wěn)定性等技術(shù)指標(biāo)保持較高水平,。它是用來測量力以及可以轉(zhuǎn)換成為力的非電物理量，例如：加速度和壓力,。平時(shí)敏感芯體沒有外加壓力作用,，電橋處于平衡狀態(tài)（稱為零位），當(dāng)傳感器受壓后芯片電阻發(fā)生變化,，電橋?qū)⑹テ胶?。若給電橋加一個(gè)恒定電流或電壓電源，電橋?qū)⑤敵雠c壓力對應(yīng)的電壓信號,，這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉(zhuǎn)換成壓力信號輸出,。電橋檢測出電阻值的變化，經(jīng)過放大后,，再經(jīng)過電壓電流的轉(zhuǎn)換,，變換成相應(yīng)的電流信號，該電流信號通過非線性校正環(huán)路的補(bǔ)償,，即產(chǎn)生了輸入電壓成線性對應(yīng)關(guān)系的4～20mA的標(biāo)準(zhǔn)輸出信號,。

壓力傳感器

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