由華愛(ài)色譜參與起草的電子特氣領(lǐng)域中的兩項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》和GB/T 42721-2023  《電子特氣 一氧化氮》于近日正式發(fā)布,。

GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》規(guī)定了六氯乙硅烷的技術(shù)要求,、采樣,、試驗(yàn)方法,、檢驗(yàn)規(guī)則,、標(biāo)志,、包裝,、運(yùn)輸,、貯存及安全信息的要求,。該標(biāo)準(zhǔn)適用于由生產(chǎn)多晶硅副產(chǎn)的六氯乙硅烷經(jīng)純化制備的電子用六氯乙硅烷。

GB/T 42721-2023   《電子特氣 一氧化氮》規(guī)定了一氧化氮的技術(shù)要求,、采樣,、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則,、標(biāo)志,、包裝、運(yùn)輸,、貯存及安全信息的要求,。該標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮。