高純氣體分析儀適用于高純氫、氧,、氬,、氮、氦,、氖,、氪、氙,、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，該檢測器通過氦放電發(fā)射連續(xù)輻射光進(jìn)行光電離,、高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB產(chǎn)生信號,，以及亞穩(wěn)態(tài)氦與組分或雜質(zhì)反應(yīng)電離產(chǎn)生信號等方式，實(shí)現(xiàn)對被測氣體的電離,。被測氣體進(jìn)入檢測器后,，在放電區(qū)被激發(fā)并電離，產(chǎn)生的離子在電場作用下被收集,，形成電信號,。通過測量電信號的大小，可以得知被測氣體中雜質(zhì)的含量,。

高純氣體分析儀采用中心切割與反吹技術(shù),，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,，一次性完成上述高純氣體中H2,、O2（Ar）、N2,、CH4,、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測,，檢測限達(dá)ppb級,，重復(fù)性RSD≤1％,。

在選擇高純氣體分析儀時，應(yīng)考慮儀器的靈敏度,、重復(fù)性,、量程范圍以及自動化程度等因素。同時,，還應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的色譜柱和檢測器,。在使用儀器時，應(yīng)嚴(yán)格按照操作手冊進(jìn)行操作,，確保儀器的正常運(yùn)行和檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性,。同時，還應(yīng)定期對儀器進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng),，延長儀器的使用壽命,。