高純氣體是指純度極高的氣體,，通常指除主要成分以外,，其他雜質(zhì)含量非常低甚至達(dá)到可忽略的程度。由于高純氣體在半導(dǎo)體制造,、光纖通信,、醫(yī)療設(shè)備、激光技術(shù)等領(lǐng)域中起著至關(guān)重要的作用,，因此對(duì)其純度的要求極高,，通常要求雜質(zhì)濃度在ppm（百萬(wàn)分之一）甚至ppb（十億分之一）級(jí)別以下。

高純氣體分析色譜（High Purity Gas Analysis Chromatography）是一種用于分析和測(cè)量高純氣體中痕量雜質(zhì)濃度的色譜技術(shù),。為了獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果,，進(jìn)行高純氣體分析色譜時(shí)需要注意以下幾點(diǎn)：
1、選擇合適的色譜柱和檢測(cè)器,，確保它們對(duì)目標(biāo)雜質(zhì)具有足夠的靈敏度和選擇性,。
2,、定期對(duì)色譜系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)，確保系統(tǒng)性能穩(wěn)定可靠,。
3,、嚴(yán)格控制樣品處理過(guò)程，避免引入新的雜質(zhì)或干擾成分,。
4,、對(duì)分析結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證和比對(duì)，確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,。

GC-9560-HG高純氣體分析色譜儀適用于高純氫,、氧、氬,、氮,、氦、氖,、氪,、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器,，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器,，通過(guò)無(wú)死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）,、N2,、CH4、CO,、CO2等常見(jiàn)雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè),，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％,。