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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
一·出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐設(shè)備用途：
出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐主要包括兩種功能,，即可用于材料的熔化提純,，也可用于材料的定向凝固。
二·出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐設(shè)備特點(diǎn)：
本設(shè)備采用立式底部升降結(jié)構(gòu)，一體化設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)緊湊,，裝卸料方便，真空爐體采用石英管
三·小型真空感應(yīng)定向凝固爐主要技術(shù)參數(shù)
1.加熱溫度： 1600℃
2.常用溫度： 1400℃
3.功率： 15Kw±10%
3.冷態(tài)極限真空度： ≤5Pa
4.坩堝尺寸： Ф30×200mm（直徑×高 ）
5.測(cè)溫系統(tǒng)： 紅外儀控溫測(cè)溫
6.加熱方式： 高頻感應(yīng)加熱
7.坩堝材質(zhì)：石英坩堝
8.坩堝護(hù)套：氮化硼+石英陶瓷保溫套
9.坩堝升降速度：位移行程 250mm（步進(jìn)電機(jī)控制）
10·爐內(nèi)充氣壓力： ≤0.03MPa
11·充氣系統(tǒng)： 自動(dòng)充放氣
四,、結(jié)構(gòu)組成及說明
1,、石英真空腔室
2、爐底及升降裝料機(jī)構(gòu)
3,、感應(yīng)加熱系統(tǒng)及
4,、真空系統(tǒng)
5、控制系統(tǒng)
6,、冷卻水分配系統(tǒng)
三,、小型真空感應(yīng)定向凝固爐結(jié)構(gòu)說明
1、石英真空腔室：真空密封腔室,，采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式,，采用徑向密封的方式，上下法蘭采用水冷密封法蘭,，保證密封性,，同時(shí)也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表,，真空抽氣接口,，觀察窗，熱偶測(cè)溫裝置以及放氣閥,、安全閥等裝置,。一體化設(shè)計(jì)，外形整潔美觀,。
2,、爐底及坩堝升降機(jī)構(gòu)：爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封，
坩堝升降機(jī)構(gòu)：采用步進(jìn)伺服電機(jī)+精密線性模組方式,，電機(jī)升降系統(tǒng)密封均采用焊接波紋管密封,，安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結(jié)構(gòu),，上面有一坩堝托盤,，用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機(jī)控制采用PLC+觸摸屏方式,，速度位移按照工藝要求任意設(shè)定,，保證其行走速度的穩(wěn)定性和位置的準(zhǔn)確性。用于定向凝固做晶體生長(zhǎng)使用,。
4,、感應(yīng)加熱系統(tǒng)：設(shè)備加熱采用感應(yīng)加熱的方式,，有一高頻感應(yīng)電源配合感應(yīng)線圈及線圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統(tǒng),。采用感應(yīng)線圈不動(dòng),，內(nèi)部坩堝升降移動(dòng)的方式，來實(shí)現(xiàn)材料晶體的熔融及定向凝固,?？梢杂脕碜鲂×坎牧暇w的生長(zhǎng)制備實(shí)驗(yàn)。測(cè)溫采用紅外實(shí)時(shí)測(cè)溫,，坩堝底部可預(yù)留熱偶測(cè)溫裝置,，實(shí)時(shí)顯示坩堝溫度。
5,、真空系統(tǒng)：由一臺(tái)機(jī)械泵配真空閥門,、充氣閥、放氣閥組成真空系統(tǒng),。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接（減緩震動(dòng)）,，真空測(cè)量選用具有數(shù)字顯示功能的真空計(jì)執(zhí)行。
6,、控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏的方式 ,，所有的動(dòng)作都有PLC來完成，安全可靠,。功能強(qiáng)大,，操作方便，具有超溫,，上線限控制聲光報(bào)警功能,。控制柜面板上設(shè)有液晶觸模屏,，可設(shè)定長(zhǎng)晶速度,、位移等，界面清晰直觀,，數(shù)據(jù)可記錄,，查詢，導(dǎo)出,，曲線數(shù)據(jù)，歷史數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)顯示,，可實(shí)時(shí)觀測(cè)直觀各部件的工作狀態(tài),，實(shí)時(shí)記錄工況。
7,、水冷分配系統(tǒng)：由循環(huán)水機(jī)及主管道,、分管路,、水閥、壓力報(bào)警等相關(guān)裝置組成,，具有斷水聲光報(bào)警及自動(dòng)切斷電源等功能,。
五、成套供應(yīng)范圍
1. 高真空腔室 1套
2. 伺服升降裝置 1套
3. BN坩堝(護(hù)套) 1套
4. 熱電偶 1支
5. 控制系統(tǒng)（plc+觸摸屏系統(tǒng)） 1套
6.產(chǎn)品說明書,，合格證 1份
7．循環(huán)冷水機(jī)：1P 1臺(tái)