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一·氟化物,，藍寶石真空晶體生長爐退火爐設備用途 
　　主要用于LED行業(yè)的寶石類晶體,，氟化物（氟化鎂，氟化鈣）等晶體是生長制備

二·氟化物,，藍寶石真空晶體生長爐退火爐產(chǎn)品特點

1·模塊化設計,，結(jié)構(gòu)緊湊，外形美觀,，

2·采用底部電動升降或者鐘罩式爐體升降,，結(jié)構(gòu)精巧，方便,，移動平穩(wěn)裝卸料方便

3· 采用觸摸屏+plc控制方式,，自動化程度高，操作直觀,，功能強大,。

4· 在觸摸屏內(nèi)可預存幾十種燒結(jié)工藝，一次編輯,，以后直接調(diào)用使用,，省去多次編輯工藝的麻煩，避免輸入錯誤,，燒壞產(chǎn)品,。

5· 燒結(jié)的溫度，真空度,，等數(shù)據(jù)可實時記錄,，也可隨時啟動停止記錄，減少無用數(shù)據(jù),，數(shù)據(jù)可查詢,，可導出下載,。

6· 燒結(jié)溫度高，用鉬絲發(fā)熱體,，可達1600℃,，石墨發(fā)熱體鎢發(fā)熱體可達2300℃。

7·自帶水冷機,，省去客戶做水路工程的麻煩,。

三·氟化物，藍寶石真空晶體生長爐退火爐設備配置

1· 設備總功率：10-100kw

2·溫度范圍：800-2300℃

3·加熱方式：石墨加熱,，鎢絲加熱 感應加熱

4.測溫系統(tǒng)： 熱電偶  紅外儀

5· 冷態(tài)極限真空度：6.67×10E-2Pa(機械泵+羅茨泵） 6.67×10E-3Pa(機械泵+擴散泵）5.0×10E-4Pa(機械泵+分子泵）

6· 壓升率：≦2pa/h

7.坩堝升降行程： 根據(jù)晶體生長大小設計,。

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

控溫精度： ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表

爐內(nèi)充氣壓力： ≤0.05MPa