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真空爐真空系統(tǒng)的配置和抽氣速度是有一定費標準和計算方法的，根據(jù)真空系統(tǒng)的使用目的而決定所需的真空度和抽氣時間,，然后選擇合適的真空泵,。本節(jié)介紹不同真空范圍內(nèi)的抽氣時間計算。

1,、大氣壓-低真空領域的抽氣時間計算

　　這里所指的低真空領域,，是指真空度在100 KPa至0.2 KPa，低真空領域真空腔體和泵的連接管內(nèi),，氣體分子是黏性流時,，抽氣時間可以通過初期壓強p1、到達壓強p2,、抽氣速度S和容積V(含配管)來計算,。

　　式中　p1———初期壓強(大氣壓)[Pa]；

　　p2———到達壓強[Pa],；

　　t———抽氣時間[min],；

　　V———容積[L]；

　　Se———實際抽氣速度[L/min],。

　　考慮到導管和閥門的瓶頸效應,，實際抽氣速度大致可以估算為理論抽氣速度的80%。

2,、中真空領域的抽氣時間計算

　　這里所指的高真空至超高真空領域,，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子,，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài),，不能單純地像低真空或下面第三章節(jié)講解的高真空那樣簡單地計算。一般情況下,，通過兩種方式分別計算抽氣時間,，然后取計算值較大的結(jié)果。

　　真空抽氣要考慮的要素：

　　(1)到達真空度,；

　　(2)抽氣速度,；

　　(3)導通率；

　　(4)實際抽氣速度,；

　　(5)氣體放出率,；

　　(6)漏率。

　　用真空泵對真空腔體抽氣時,，初腔體內(nèi)的壓強迅速降低,，但是經(jīng)過一段時間后壓強下降變緩，并且趨于一個恒定值。導致這種現(xiàn)象的主要原因是材料的表面放氣,。如圖1所示,，壓強變化的不同領域，分別稱之為空間抽氣和表面抽氣,。為了進一步提高真空度,，通常采用的對策如下：

圖1  壓強和抽氣時間的關系

　　(1)選擇表面放出氣體少的材料；

　　(2)通過電解拋光等手段,，減小材料表面積,，繼而減少氣體分子的吸附

　  (3)對腔體進行烘烤，促進表面吸附氣體的放出,。

3,、高真空-超高真空領域的抽氣時間計算

　　這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在0.2Pa以下,，對于高真空領域,，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此,，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領域不同,。

　　式中　p(t)———到達壓強；

　　Se———實際抽氣速度,；

　　Ql———腔體漏氣量,；

　　Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

　　p0———初期壓強,。

　　氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少,。計算開始時，假定一個抽氣時間,，根據(jù)當時的放氣量來求得到達的真空度,。如果計算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間,，根據(jù)新假設時間的氣體放出量再次計算,。不斷重復，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi),。

　　高真空領域的抽氣時間計算遠比低真空領域復雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下,，后者的氣體放出會減少10%左右,，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。

　　真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達的真空度和抽氣時間,。如果使用了樹脂類材料,，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數(shù)量級。內(nèi)部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出,。為了加速螺紋部的氣體放出,，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開一個出氣孔(圖2),。因此,，內(nèi)部構(gòu)造越復雜，影響真空的因素就越多,，要獲得高真空,，設計上就更需要經(jīng)驗。

圖2 螺紋部的抽氣示意圖