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靜電放電的三種模式:
靜電對電子產(chǎn)品的損害有多種形式,其中最常見,、危害最大的是靜電放電(ESD),。帶靜電的物體與元器件有電接觸時,靜電會轉(zhuǎn)移到元器件上或通過元器件放電,;或者元器件本身帶電,,通過其它物體放電。這兩種過程都可能損傷元器件,,損傷的程度與靜電放電的有關(guān),。實際過程中靜電的來源有很多,放電的形式也有多種,。但通過對靜電的主要來源以及實際發(fā)生的靜電放電過程的研究認(rèn)為,,對元器件造成損傷的主要是三種模式,即帶點人體的靜電放電模式,、帶電機(jī)器的放電模式和充電器件的放電模式,。
1.帶電的人體的放電模式(HBM)
由于人體會與各種物體間發(fā)生接觸和磨擦,又與元器件接觸,,所以人體易帶靜電,,也容易對元器件造成靜電損傷,。普遍認(rèn)為大部分元器件靜電損傷是由人體靜電造成的。帶靜電的人體可以等效為等效電路,,這個等效電路又稱人體靜電放電模型(Human Body Model),。其中,Vp帶靜電的人體與地的電位差,,Cp帶靜電的人體與地之間的電容量,,一般為50-250pF;Rp人體與被放電體之間的電阻值,,一般為102-105Ω,。
人體與被放電體之間的放電有兩種。即接觸放電和電弧放電,。接觸放電時人體與被放電之間的電阻值是個恒定值,。電弧放電是在人體與被放電體之間有一定距離時,它們之間空間的電場強(qiáng)度大于其介質(zhì)(如空氣)的介電強(qiáng)度,,介質(zhì)電離產(chǎn)生電弧放電,,暗場中可見弧光。電弧放電的特點是在放電的初始階段,,因為空氣是**導(dǎo)體,,放電通道的阻抗較高,放電電流較??;隨著放電的進(jìn)行,通道溫度升高,,引起局部電離,,通道阻抗逐漸降低,電流增大,,直至達(dá)到一個峰值,;然后,隨著人體靜電能量的釋放,,電流逐漸減少,,直至電弧消失。
2.帶電機(jī)器的放電模式(MM)
機(jī)器因為摩擦或感應(yīng)也會帶電,。帶電機(jī)器通過電子元器件放電也會造成損傷,。機(jī)器放電的模型(Machine Model)。與人體模式相比,,機(jī)器沒有電阻,,電容則相對要大。
3.充電器件的放電模型(CDM)
在元器件裝配,、傳遞,、試驗,、測試、運輸和儲存的過程中由于殼體與其它材料磨擦,,殼體會帶靜電,。一旦元器件引出腿接地時,殼體將通過芯體和引出腿對地放電,。這種形式的放電可用所謂帶電器件模型(Charged-Device Model,,CDM)來描述。下面以雙極型和MOS型半導(dǎo)體器件為例給出靜電放電的等效電路,。雙極型器件的CDM等效電路,,Cd為器件與周圍物體及地之間的電容,Ld為器件導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的等效電感,,Rd為芯片上放電電流通路的等效電阻,。串聯(lián)著的Rd、Cd和Ld等效于帶電器件,。開關(guān)S合上表示器件與地的放電接觸,,接觸電阻為Rc?!?/span>
MOS器件的CDM等效電路,。由于MOS器件各個管腿的放電時間長短相差很大,所以要用不同的放電通路來模擬,,每條放電通路都用其等效電容、電阻和電感來表示,。當(dāng)開關(guān)S閉合而且有任一個管腿接地時,,各通路存儲的電荷將要放電。若在放電過程中,,各個通路的放電特性不同,,就會引起相互間的電勢差。這一電勢差也會造成器件的損壞,,如柵介質(zhì)擊穿等,。
器件放電等效電容Cd的大小和器件與周圍物體之間的位置及取向有關(guān),有相關(guān)的表格給出了雙列直插封裝器件在不同取向時的等效電容值,,可見管殼的取向不同,電容可相差十幾倍,,因而其靜電放電閾值可以有顯著差別,。
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