路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備，是方便于實驗室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實驗室,、電子微電子、石油化工,、太陽能,、分析儀器、核電廠,、生物制藥,、質(zhì)監(jiān)局、學(xué)?？蒲?、原子吸收光譜法、廢氣分析,、食品包裝,、海洋工業(yè)、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域,。

實驗室高純氣路管道系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求

氣路系統(tǒng)主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設(shè)備,，是方便于實驗室供氣及安全的氣路系統(tǒng)。主要用于實驗室,、電子微電子,、石油化工、太陽能,、分析儀器,、核電廠、生物制藥,、質(zhì)監(jiān)局,、學(xué)?？蒲小⒃游展庾V法,、廢氣分析,、食品包裝、海洋工業(yè),、醫(yī)療/工業(yè)激光工業(yè)等高科技領(lǐng)域,。

　　1.管道、球閥,、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯),，高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設(shè)有單向閥,，可防止鋼瓶更換時軟管內(nèi)的氣體泄漏,，同時防止外界空氣混入氣路。

　　2.管道系統(tǒng):所有氣體管道均采用巴級316L不銹鋼管,，管道上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,，使氣體在循環(huán)過程中不會被管道系統(tǒng)污染，保證氣體的純度,。同時,，應(yīng)有明確的標志來指示氣體的流向。

　　3.管道連接:母線和端子部分通過卡套連接,，便于減壓器和閥門的維護和管理。

　　4.終端:每臺儀表前應(yīng)配備截止閥和二次減壓器(每種氣體一個),。截止閥用于控制每個氣路的開啟和關(guān)閉;當儀器需要調(diào)整和維護時,，可以停止任何定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調(diào)節(jié)終端的壓力,。

　　1.不銹鋼管外明內(nèi)凈是選,，其次是銅管和塑料管。避免室外部件使用塑料管,。

　　2.室內(nèi)部件應(yīng)盡可能使用不銹鋼管,。聚四氟乙烯管或聚乙烯管可用于特殊需要。

　　3.為了消除不必要的隱患,，減少管道可能的泄漏點,，建議使用超長不銹鋼軟管，容易彎曲和改變方向,。有時,，為了便于施工和設(shè)計，可以在管道中設(shè)置一些雙通和三通接頭,。

　　1.高純氣體管道系統(tǒng)布置不同于普通氣體管道,。通常要求管道不應(yīng)太長,，并且不應(yīng)有不容易清洗的死角，如“盲管",。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口,。在一些非連續(xù)使用的用戶中，少量氣體在管道末端連續(xù)排出,，從而管道中的氣體將正常流動,，并且沒有“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求,，如有必要,，還需要布置末端凈化裝置。一般來說,，控制閥,、過濾器、減壓裝置,、壓力表,、流量計、在線分析儀器等,。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室,，便于統(tǒng)一管理和控制。

　　2.高純氣路管道及附件材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度,、允許雜質(zhì)含量,、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道,。例如,，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細加工,，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴格的要求,。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù)，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴格,，10-6 (ppm級)不能滿足要求,。需要達到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm,。因此,，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　3.管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道,，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性,、出氣率、吸附性、表面粗糙度,、耐磨性和耐腐蝕性,。

　　外觀檢查

　　1.管道布線應(yīng)水平、平直和垂直;管子固定牢固,。

　　2.管道外表面無明顯損壞,。

　　3.每個閥件沒有明顯損壞。系統(tǒng)耐壓試驗如果管道在充滿壓力后變形(如起泡,、扭曲,、膨脹和其他現(xiàn)象)，這意味著系統(tǒng)不能在這種壓力下工作,。如果系統(tǒng)在此壓力下長時間工作,，系統(tǒng)將在變形位置爆裂，造成人身和財產(chǎn)損失,。

實驗室高純氣路管道系統(tǒng)應(yīng)用及管道要求